The flow rate of H2 is constant at

The flow rate of H2 is constant at 50 sccm for all experiments. H2 is introduced with the purpose of etching

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

อัตราการไหลของ H2 เป็นค่าคงที่ผิด 50 สำหรับการทดลองทั้งหมด H2 ถูกนำมาใช้มีวัตถุประสงค์ในการแกะสลัก

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

อัตราการไหลของ H2 เป็นค่าคงที่ที่ 50 SCCM สำหรับการทดลองทั้งหมด เป็นที่รู้จัก H2 มีวัตถุประสงค์เพื่อแกะสลัก

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

อัตราการไหลของราคาคงที่ที่ 50 sccm ในทุกการทดลอง แต่ใช้กับวัตถุประสงค์ของการกัดกรด