The schematic diagram of the experi

The schematic diagram of the experiment setup used for the generation and characterization of ICP is shown in the Figure 3. The nitrogen discharge plasma is generated by 13.56MHz RF [9{11] generator
having 50­ resistance, connected across a spiral planar coil shaped electrode of copper having 13 turns and 30 cm diameter placed at the top opening of a grounded cylindrical plasma chamber of stainless steel. The plasma chamber is 31 cm in diameter and 24 cm in height with four main vacuum tight multi role ports of 9.8 cm diameter each.The spiral planar coil is insulated from the chamber by a 1.2 cm thick quartz plate which not only serves as an insulator between the coil and plasma chamber but also helps in maintaining the vacuum inside the chamber. In order to keep the re°ected power below 2% and to maximize the power transfer from the RF generator to discharge gas,an automatic impedance matching network consisting of a tuning unit and a control unit is connected between 13.56MHz RF generator and spiral planar coil [12, 13]. For the °ow mode operation and generation of low pressure discharge plasma, a rotary vane pump is connected across the chamber which has the capability of lowering the pressure up to 10¡3 mbar. The pressure inside the chamber is monitored by a pirani gauge and the gas °ow rate from the main cylinder to the plasma
chamber is controlled by the mass °ow meter. In this experiment the °ow rate of nitrogen gas is kept constant at 50 sccm.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ไดอะแกรมแผนผังตัวอย่างของการตั้งค่าการทดลองใช้สำหรับสร้างและสมบัติของ ICP จะแสดงในรูปที่ 3 สร้างขึ้น โดย RF 13.56MHz [9 { 11] เครื่องกำเนิดพลาสม่าปล่อยไนโตรเจนมีความต้านทาน 50 การเชื่อมต่อระหว่างอิเล็กโทรดระนาบขดลวดรูปทรงเกลียวของทองแดงที่มีเปิด 13 และ 30 ซม.เส้นผ่าศูนย์กลางอยู่ที่เปิดด้านบนของหอพลาสมาป่นเล็กน้อยทรงกระบอกเหล็กกล้าไร้สนิม ห้องพลาสมาเป็น 31 ซม.เส้นผ่านศูนย์กลาง และสี่หลักดูดแน่นหลายพอร์บทบาทของแต่ละขนาด 9.8 ซม.สูง 24 ซม.ม้วนระนาบเกลียวเป็นฉนวนจากหอการค้า โดยจานควอตซ์หนา 1.2 ซม.ซึ่งไม่เพียงแต่ทำหน้าที่เป็นฉนวนระหว่างหอขดและพลาสม่า แต่ยัง ช่วยรักษาเครื่องดูดฝุ่นภายในห้อง เพื่อให้เรื่อง° ected ใช้พลังงานต่ำ กว่า 2% และเพิ่มการโอนย้ายพลังงานจากเครื่องกำเนิดไฟฟ้า RF ไล่ก๊าซ เครือข่ายการจับคู่ความต้านทานโดยอัตโนมัติประกอบด้วยหน่วยควบคุมและหน่วยปรับแต่งมีการเชื่อมต่อระหว่างเครื่องกำเนิดไฟฟ้า 13.56 MHz RF และเกลียวขดระนาบ [12, 13] สำหรับองศาอ่าว โหมดการดำเนินงานและสร้างความกดดันต่ำถ่ายพลาสมา ปั๊มโรตารี่ vane เชื่อมระหว่างหอการค้าซึ่งมีความสามารถในการลดความดันได้ 10¡3 mbar ความดันภายในห้องถูกตรวจสอบ โดยวัด pirani และ°แก๊สอ่าว ราคาจากถังหลักสม่าหอควบคุม โดยองศาโดยรวมอ่าว เมตร ในองศาทดลองนี้อ่าว อัตราของแก๊สไนโตรเจนจะถูกเก็บไว้คงที่ที่ 50 sccm

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

แผนภาพของการติดตั้งการทดสอบที่ใช้สำหรับการสร้างและศึกษาคุณสมบัติของ ICP จะแสดงในรูปที่ 3 พลาสม่าปล่อยไนโตรเจนถูกสร้างขึ้นโดย 13.56MHz RF [9 {11] เครื่องกำเนิดไฟฟ้า
ที่มีความต้านทาน 50, เชื่อมต่อผ่านขดลวดเกลียวระนาบอิเล็กโทรดที่มีรูปร่าง ทองแดงมี 13 ผลัดกันและมีขนาดเส้นผ่าศูนย์กลาง 30 ซม. อยู่ที่การเปิดด้านบนของห้องพลาสม่าทรงกระบอกกราวนด์ของสแตนเลส ห้องพลาสม่า 31 ซม. ในเส้นผ่าศูนย์กลางและ 24 ซม. ความสูงสูญญากาศที่มีสี่หลักแน่นพอร์ตบทบาทหลาย 9.8 ซม. เส้นผ่าศูนย์กลาง each.The เกลียวขดลวดภาพถ่ายเป็นฉนวนจากห้องโดยแผ่นผลึกหนา 1.2 ซม. ซึ่งไม่เพียง แต่ทำหน้าที่เป็นฉนวนกันความร้อน ระหว่างขดลวดและพลาสม่าในห้อง แต่ยังช่วยในการรักษาสูญญากาศภายในห้อง เพื่อที่จะให้อีก°อำนาจ ected ต่ำกว่า 2% และเพื่อเพิ่มการถ่ายโอนอำนาจจากเครื่องกำเนิดคลื่นความถี่วิทยุปล่อยก๊าซเครือข่ายความต้านทานการจับคู่อัตโนมัติประกอบด้วยหน่วยการปรับแต่งและหน่วยควบคุมการเชื่อมต่อระหว่างเครื่องกำเนิดไฟฟ้า 13.56 MHz คลื่นความถี่วิทยุและภาพถ่ายเกลียว ขดลวด [12, 13] สำหรับการดำเนินงานโหมด°โอ๊ยและการสร้างพลาสม่าปล่อยแรงดันต่ำปั๊มใบพัดหมุนมีการเชื่อมต่อทั่วห้องซึ่งมีความสามารถในการลดความดันได้ถึง10¡3เอ็มบาร์ ความดันภายในห้องถูกตรวจสอบโดยวัด Pirani และก๊าซ°อัตราโอ๊ยจากถังหลักในการพลาสม่า
ในห้องจะถูกควบคุมโดยมวล°โอ๊ยเมตร ในการทดลองนี้°อัตราโอ๊ยของก๊าซไนโตรเจนจะถูกเก็บไว้คงที่ที่ 50 SCCM

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

แผนภาพแผนผังของการทดลองการใช้สำหรับคนรุ่นและคุณสมบัติของ ICP จะแสดงในรูปที่ 3 จำหน่ายพลาสมาไนโตรเจนที่ถูกสร้างโดย RF 13.56 Mhz . [ 9 { 9 ] เครื่องกำเนิดไฟฟ้า
มี 50 องความต้านทานเชื่อมต่อผ่านระนาบขดลวดเกลียวรูปขั้วทองแดงมี 13 รอบและ 30 ซม. อยู่ที่การเปิดด้านบนของห้องกักบริเวณทรงกระบอกพลาสม่า สแตนเลส พลาสมาห้อง 31 ซม. ในเส้นผ่าศูนย์กลาง 24 ซม. ความสูงสี่หลักสูญญากาศแน่นหลายบทบาทพอร์ต 9.8 ซม. แต่ละ เกลียว Planar ขดเป็นฉนวนจากห้องโดย 12 ซม. หนาควอตซ์จานซึ่งไม่เพียง แต่ทำหน้าที่เป็นฉนวนระหว่างขดลวดและในห้อง พลาสม่า แต่ยังช่วยในการรักษาสิวภายในห้อง เพื่อที่จะให้อีก โดยประมวลพลังด้านล่าง 2% และเพิ่มการถ่ายโอนพลังงานจาก RF Generator จำหน่ายแก๊ส มีการจับคู่อัตโนมัติภายในเครือข่ายประกอบด้วยหน่วยปรับและควบคุมหน่วยเชื่อมต่อระหว่าง 1356mhz RF Generator และระนาบขดลวดเกลียว [ 12 , 13 ) สำหรับโหมดการตรวจสอบและสร้างพลาสมา โอ๊ยปล่อยแรงดันต่ำ , ปั๊มใบพัดหมุนเชื่อมต่อทั่วห้องซึ่งมีความสามารถในการลดความดันได้ถึง 10 ¡ 3 มิลลิบาร์ ความดันภายในห้องถูกตรวจสอบ โดยมาตรวัดพิรานิและ / ก๊าซจากถังหลักๆเท่ากันกับพลาสมา
ห้องจะถูกควบคุมโดยมวล / เครื่องวัด . ในการทดลองนี้ โดยอัตราของก๊าซไนโตรเจน โอ๊ย ไว้คงที่ที่ 50 sccm .