Abstract – The investigation of the

Abstract – The investigation of the microwave energy
penetration (f = 2,45 ± 0,05 GHz) in the center of the oxygen gas
discharge in the resonant type plasmatron was carried out on
the example of microwave plasma-chemical processing of silicon
plates. The investigation was performed by three independent
methods: using a thermocouple for investigating temperature
characteristics of the microwave discharge; according to the
data of the "active probe" which was injected into the volume of
discharge chamber; using an electric probe which was placed
in the volume of plasma for measuring the electrical
conductivity of the space. The experimental results indicate that
for the levels of microwave power flux density in the discharge
volume ranging within 0.06-0.08 W/cm
3
the microwave field is
entered into the volume of the discharge zone. This effect must
be taken into account when organizing the processes of plasmachemical
treatment
(the
influence
of
microwave
field
on
the

parameters
of
the
processed
structures,
explanation
of
"loading

effect",
when
chosen
construction
of
a
system
for
supplying

microwave
energy
to
the
treatment
area,
in
the
analysis
forms

and
character
of
microwave
field
distribution
in
the
gas

discharge
area,
etc.)
and
for
analysing
the
results
of processing

of
materials
and
semiconductor
structures
which
may
be

exposed
to microwave
energy.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

บทคัดย่อการตรวจสอบพลังงานไมโครเวฟการเจาะ (f = 2,45 ± 0,05 GHz) ของก๊าซออกซิเจนจำหน่ายใน plasmatron ชนิดคงทำออกมาในตัวอย่างของการประมวลผลพลาสม่าเคมีไมโครเวฟของซิลิคอนแผ่น การสอบสวนที่ดำเนินการ โดยอิสระ 3วิธีการ: ใช้ thermocouple ตรวจสอบอุณหภูมิลักษณะของไมโครเวฟถ่าย ตามข้อมูลของการ "ใช้โพรบ" ซึ่งถูกฉีดเข้าไปในปริมาณถ่ายหอ ใช้โพรบการไฟฟ้าซึ่งการในปริมาตรของพลาสมาสำหรับวัดการไฟฟ้านำพื้นที่ ผลการทดลองบ่งชี้ว่าระดับของความหนาแน่นฟลักซ์ไฟฟ้าไมโครเวฟในการปล่อยออกปริมาณตั้งแต่ภายใน 0.06-0.08 W/cm3 ฟิลด์ไมโครเวฟเข้าระดับโซนจำหน่าย ลักษณะพิเศษนี้ต้องนำมาพิจารณาเมื่อมีการจัดการกระบวนการของ plasmachemicalรักษา(มีอิทธิพลต่อของไมโครเวฟฟิลด์บนที่พารามิเตอร์ของที่การประมวลผลโครงสร้างอธิบายของ"โหลดผล"เมื่อเลือกก่อสร้างของการระบบ สำหรับการจัดหาไมโครเวฟพลังงานถึงที่รักษาที่ตั้งในที่การวิเคราะห์แบบฟอร์มและอักขระ ของไมโครเวฟฟิลด์กระจายในที่ก๊าซปลดที่ตั้งฯลฯ)และสำหรับวิเคราะห์ที่ผลลัพธ์การประมวลผลของวัสดุและสารกึ่งตัวนำโครงสร้างซึ่งอาจจะสัมผัสกับไมโครเวฟประหยัดพลังงาน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

บทคัดย่อ - การตรวจสอบข้อเท็จจริงของพลังงานไมโครเวฟ
รุก (f = 2.45 ± 0.05 GHz) ในใจกลางของก๊าซออกซิเจน
ออกมาในรูปแบบ Plasmatron จังหวะได้รับการดำเนินการใน
ตัวอย่างของการประมวลผลไมโครเวฟพลาสมาเคมีของซิลิกอน
แผ่น การตรวจสอบที่ได้รับการดำเนินการโดยอิสระสาม
วิธี: โดยใช้เทอร์โมสำหรับการตรวจสอบอุณหภูมิ
ลักษณะของการปล่อยไมโครเวฟ; ตาม
ข้อมูลของ "สอบสวนที่ใช้งาน" ซึ่งได้รับการฉีดเข้าไปในปริมาณของ
ห้องจำหน่าย; โดยใช้หัววัดไฟฟ้าซึ่งอยู่
ในปริมาณของพลาสม่าสำหรับการวัดไฟฟ้า
การนำของพื้นที่ ผลการทดลองแสดงให้เห็นว่า
ระดับของความหนาแน่นของของเหลวไมโครเวฟอำนาจในการปฏิบัติ
ปริมาณตั้งแต่ภายใน 0.06-0.08 W / cm
3
สนามไมโครเวฟที่มีการ
ลงนามในปริมาณของโซนปล่อย ผลกระทบนี้จะต้อง
นำมาพิจารณาเมื่อจัดกระบวนการของการ การประมวลผลของวัสดุและเซมิคอนดักเตอร์โครงสร้างที่อาจจะสัมผัสกับไมโครเวฟพลังงาน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

นามธรรม และการสอบสวนของ
พลังงานไมโครเวฟทะลุ ( F = 2,45 ± 0,05 GHz ) ในศูนย์ของ
แก๊สออกซิเจนไหลในพลาสเมตรอนชนิดเรโซแนนซ์ได้ดำเนินการบน
ตัวอย่างของไมโครเวฟพลาสมาการประมวลผลทางเคมีของซิลิคอน
แผ่น การสอบสวนดำเนินการโดยสามวิธีอิสระ
: ใช้สำหรับตรวจสอบอุณหภูมิ Thermocouple
ลักษณะของไมโครเวฟจำหน่าย ; ตาม
ข้อมูล " งานสอบสวน " ซึ่งถูกฉีดเข้าไปในหมวดของ
ห้องจำหน่าย โดยใช้ไฟฟ้า probe ซึ่งวางอยู่
ในปริมาณของพลาสมาวัดความนำไฟฟ้า
ของพื้นที่ ผลการทดลองพบว่า
สำหรับระดับของความหนาแน่นฟลักซ์ไฟฟ้าไมโครเวฟในการระบาย
ปริมาณตั้งแต่ภายใน 0.06-0 .8 W / cm
3

เข้าไมโครเวฟ เขตมีปริมาณจำหน่ายโซน ผลกระทบนี้จะต้อง
นํามาพิจารณาเมื่อการจัดกระบวนการของการรักษา plasmachemical




( อิทธิพลของไมโครเวฟบนสนาม







ของพารามิเตอร์การประมวลผล



อธิบายโครงสร้างของ " โหลด

ผล "



เมื่อเลือกสร้างของ



ขายเป็นระบบสำหรับไมโครเวฟพลังงาน








ในการรักษาพื้นที่

รูปแบบและการวิเคราะห์






ตัวละครของไมโครเวฟสนาม



จำหน่ายในแก๊ส

จำหน่าย


พื้นที่ , ฯลฯ ) และเพื่อวิเคราะห์






ผลของการประมวลผลของวัสดุสารกึ่งตัวนำและ






โครงสร้างซึ่งอาจเป็น

ตาก


เพื่อไมโครเวฟพลังงาน