The fabricated devices were tested in the presence of
four concentrations of ethylene, ethanol, ammonia (1, 5, 10
and 100 ppm) and their binary mixtures (1 + 1, 5 + 5, 10 + 10
and 100 + 100 ppm) at three different operating temperatures
(250, 350 and 450 ◦C). The sensor response to interfering
species like CH4 (100, 1000 and 10,000 ppm) and moisture
was evaluated too. Each measurement of a given species and
concentration was replicated three times.
The sensor microarrays were tested in a small-volume
(15 ml) sensor chamber using an automated continuous flow
measurement system. Ambient temperature was kept constant
(30 ◦C) during the measurement phase and relative
humidity was set to 10% R.H. (unless otherwise specified).
Pure dry air was used both as carrier gas and also as reference
gas (sensor baseline was recorded in pure dry air). Gas
flow was set at 200 sccm. Gas bottles containing ethylene,
ethanol and ammonia diluted in pure dry air were connected
via mass-flow controllers (accuracy of ±1% its full scale)
to the measurement rig. The system enables measuring the
gases at different concentrations and with different humidity
backgrounds (using a heated bubbling system). Fig. 3 shows
a schematic view of the measurement setup. Fig. 4 shows a
typical dynamic response of four different tin oxide-based
sensors within the same chip for increasing concentrations of
ethylene (1, 5 and 10 ppm). This figure also shows that the
sensors regain their baseline resistance when the chamber is
cleaned with air. In Fig. 4, the sensor doped with Pt shows
the highest response to ethylene.
ทดสอบอุปกรณ์ประกอบหน้า
4 ความเข้มข้นของเอทิลีน แอมโมเนีย เอทานอล (1, 5, 10
100 ppm และ) และส่วนผสมของไบนารี (1 1, 5 5, 10 10
100 100 ppm และ) ที่แตกต่างกันสามปฏิบัติการอุณหภูมิ
(250, 350 และ 450 ◦C) การตอบสนองต่อเซ็นเซอร์รบกวน
ชนิดเช่น CH4 (100, 1000 และ 10000 ppm) และความชื้น
ประเมินเกินไป วัดแต่ละชนิดกำหนด และ
สมาธิถูกจำลอง 3 ครั้งแบบ
ทดสอบ microarrays เซ็นเซอร์ในห้องเซ็นเซอร์
(15 ml) เล็กปริมาณใช้การไหลต่อเนื่องอัตโนมัติ
ระบบวัด อุณหภูมิที่เก็บ
(30 ◦C) คงในระหว่างขั้นตอนการวัดและญาติ
ความชื้นถูกตั้งค่าให้ 10% R.H. (ยกเว้นระบุเป็นอย่างอื่น) .
อากาศบริสุทธิ์แห้งถูกใช้ทั้ง เป็นผู้ขนส่งก๊าซ และใช้ เป็นอ้างอิง
แก๊ส (เซ็นเซอร์พื้นฐานถูกบันทึกในอากาศบริสุทธิ์แห้ง) ก๊าซ
ตั้งกระแสที่ 200 sccm แก๊สประกอบด้วยเอทิลีน ขวด
เชื่อมต่อเอทานอลและแอมโมเนียที่ผสมในอากาศบริสุทธิ์แห้ง
ผ่านตัวควบคุมการไหลมวล (ความถูกต้องของ ±1% เต็มของขนาด)
กับอุปกรณ์วัด ระบบช่วยให้วัด
ก๊าซ ที่ความเข้มข้นแตกต่างกัน และ มีความชื้นแตกต่างกัน
(ใช้ระบบไหลเอื่อย ๆ อุ่น) พื้นหลัง แสดง fig. 3
ดูแผนผังตัวอย่างของการตั้งค่าการวัด Fig. 4 แสดงเป็น
ตอบสนองแบบไดนามิกปกติสี่อื่นดีบุกออกไซด์ตาม
เซ็นเซอร์ภายในชิพเดียวกันสำหรับการเพิ่มความเข้มข้นของ
เอทิลีน (1, 5 และ 10 ppm) ตัวเลขนี้ยังแสดงให้เห็นว่าการ
เซนเซอร์อีกความพื้นฐานเมื่อหอการค้า
ทำความสะอาด ด้วยอากาศ Fig. 4 เซนเซอร์ doped กับ Pt แสดง
ตอบสนองสูงที่สุดจากเอทิลีน
การแปล กรุณารอสักครู่..
อุปกรณ์ที่ประดิษฐ์ได้มีการทดสอบในที่ที่มี
ความเข้มข้นสี่ของเอทิลีนเอทานอลแอมโมเนีย (1, 5, 10
และ 100 ppm) และสารผสมไบนารีของพวกเขา (1 + 1, 5 + 5, 10 + 10
+ 100 และ 100 ppm) ที่ สามอุณหภูมิการทำงานที่แตกต่างกัน
(250, 350 และ 450 ◦ C) การตอบสนองเซ็นเซอร์ที่จะรบกวน
ชนิดเช่น CH4 (100, 1000 และ 10,000 ppm) และความชื้น
ถูกประเมินเกินไป การวัดของสายพันธุ์ที่ได้รับและแต่ละ
ความเข้มข้นเป็นซ้ำสามครั้ง
microarrays เซ็นเซอร์ได้มีการทดสอบในขนาดเล็กปริมาณ
(15 มล. ) ห้องเซ็นเซอร์การใช้อย่างต่อเนื่องอัตโนมัติ
ระบบการวัด อุณหภูมิถูกเก็บไว้คงที่
(30 ◦ C) ในระหว่างขั้นตอนการวัดและญาติ
ความชื้นถูกกำหนดถึง 10% RH (ยกเว้นกรณีที่ระบุเป็นอย่างอื่น)
อากาศแห้งบริสุทธิ์ถูกนำมาใช้ทั้งในฐานะผู้ให้บริการก๊าซและยังเป็นข้อมูลอ้างอิง
ก๊าซ (เซ็นเซอร์พื้นฐานได้รับการบันทึกไว้ในที่บริสุทธิ์ อากาศแห้ง) ก๊าซ
ไหลตั้งอยู่ที่ 200 ลูกบาศก์เซนติเมตร ขวดก๊าซที่มีเอทิลีน,
เอทานอลและแอมโมเนียเจือจางในอากาศแห้งบริสุทธิ์ที่เชื่อมต่อ
ผ่านทางตัวควบคุมการไหลของมวล (ความถูกต้องของ± 1% ขนาดเต็ม)
กับอุปกรณ์การวัด ระบบจะช่วยให้การวัด
ก๊าซที่ระดับความเข้มข้นแตกต่างกันและมีความชื้นที่แตกต่างกัน
ภูมิหลัง (ใช้ระบบเดือดร้อน) มะเดื่อ 3 แสดงให้เห็นถึง
มุมมองที่มีลักษณะเป็นแผนของการตั้งค่าการวัด มะเดื่อ 4 แสดงให้เห็นถึง
การตอบสนองแบบไดนามิกโดยทั่วไปของสี่แตกต่างกันดีบุกออกไซด์ที่ใช้
เซ็นเซอร์ภายในชิปเดียวกันความเข้มข้นที่เพิ่มขึ้นของ
เอทิลีน (1, 5 และ 10 ppm) ตัวเลขนี้ยังแสดงให้เห็นว่า
เซ็นเซอร์ฟื้นต้านทานพื้นฐานของพวกเขาเมื่อในห้องที่มีการ
ทำความสะอาดด้วยอากาศ ในรูปที่ 4 เซ็นเซอร์เจือด้วย Pt แสดงให้เห็นถึง
การตอบสนองสูงสุดเอทิลีน
การแปล กรุณารอสักครู่..
ประดิษฐ์อุปกรณ์ทดสอบในการปรากฏตัวของ
4 ความเข้มข้นของเอทิลีน , เอทานอล , แอมโมเนีย ( 1 , 5 , 10
100 ppm ) และแบบผสม ( 1 1 5 5 , 10
100 และ 100 ppm ) ที่แตกต่างกันสามอุณหภูมิ
( 250 , 350 และ 450 ◦ C ) เซนเซอร์ชนิดต่างๆ เช่น การยุ่ง
ร่าง ( 100 , 1000 และ 10 , 000 ppm ) และความชื้น
ถูกประเมินด้วยแต่ละวัดกำหนดชนิดและความเข้มข้นของ
ซ้ำ 3 ครั้ง เซ็นเซอร์ิทดสอบ
เล่มเล็ก ( 15 ml ) ห้องเซนเซอร์ใช้อัตโนมัติ
ต่อเนื่องวัดระบบ อุณหภูมิแวดล้อมคงที่
( 30 ◦ C ) ในการวัดระยะและความชื้นสัมพัทธ์
ตั้งไว้ 10% R.H .
( เว้นแต่จะระบุเป็นอย่างอื่น )ลมแห้งบริสุทธิ์ถูกใช้เป็นทั้งผู้ให้บริการก๊าซและยังเป็นก๊าซอ้างอิง
( ฐานเซ็นเซอร์ที่ถูกบันทึกไว้ในอากาศแห้งบริสุทธิ์ ) อัตราการไหลของแก๊ส
ตั้งไว้ที่ 200 sccm . ขวดบรรจุก๊าซเอทิลีน
เอทานอลและแอมโมเนียเจือจางในอากาศแห้งบริสุทธิ์ต่อกัน
ผ่านตัวควบคุมการไหลของมวล ( ความถูกต้องของ± 1% เต็มมาตราส่วน )
เพื่อการวัดอุปกรณ์ . ระบบช่วยให้วัด
ก๊าซที่ความเข้มข้นต่าง ๆ ที่มีภูมิหลังที่แตกต่างกันและความชื้น
( ใช้น้ำอุ่นระบบ ) รูปที่ 3 แสดงการดูแผนผังของการวัดการติดตั้ง รูปที่ 4 แสดงการตอบสนองแบบไดนามิกโดยทั่วไปของทั้งสี่ที่แตกต่างกัน
ดีบุกออกไซด์จากเซ็นเซอร์ภายในชิปเดียวกันเพื่อเพิ่มความเข้มข้นของเอทิลีน (
1 , 5 และ 10 ppm ) รูปนี้ยังแสดงให้เห็นว่า
ความต้านทานของเซ็นเซอร์ฟื้นฐานเมื่อห้อง
ทำความสะอาดอากาศ ในรูปที่ 4 , เซ็นเซอร์เจือด้วย PT แสดง
ตอบสนองสูงสุดกับเอทธิลีน
การแปล กรุณารอสักครู่..