Prior to heating, the CVD quartz tu

Prior to heating, the CVD quartz tube was pumped to approximately 104
mbar to clean the system, and thenfilled with 200 standard cubic cm per min (sccm) purified Argon (Ar, 99.9999%
purity)

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ก่อนที่จะทำความร้อน หลอดควอตซ์ผิว CVD ถูกสูบประมาณ 10 4อาร์กอน (Ar, 99.9999% บริสุทธิ์ mbar ล้างระบบ และ thenfilled กับ 200 มาตรฐานลูกบาศก์เซนติเมตรต่อนาที (sccm)ความบริสุทธิ์)

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ก่อนที่จะมีความร้อนหลอด CVD ผลึกถูกสูบประมาณ 10? 4
เอ็มบาร์ในการทำความสะอาดระบบและ thenfilled กับ 200 ลูกบาศก์เซนติเมตรต่อนาที (SCCM) บริสุทธิ์อาร์กอน (Ar, 99.9999%
ความบริสุทธิ์)

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ก่อนเครื่อง ซีวีดี ท่อควอทซ์ถูกสูบไปประมาณ 10  4
มิลลิบาร์ ทำความสะอาดระบบและ thenfilled 200 ลูกบาศก์เซนติเมตรต่อนาที ( sccm ) อาร์กอนบริสุทธิ์ ( AR , 99.9999 %
ความบริสุทธิ์ )