The PECVD layer forms part of the c

The PECVD layer forms part of the complete oxide layer in addition to SACVD (sub-atmospheric chemical vapor deposition) layers. The latter ones have been modeled using the single-precursor model for chemical vapor deposition described previously [8]. It has to be noted that equipment related variations for the SACVD processes which are not part of this study can also contribute to variations of the structures and thus of the electrical performance.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ส่วนฟอร์มชั้น PECVD ของชั้นออกไซด์ที่สมบูรณ์นอกจากชั้น (สะสมไอสารเคมีบรรยากาศย่อย) SACVD คนหลังมีการจำลองใช้แบบครั้งเดียวของสารตั้งต้นสำหรับการสะสมไอสารเคมีอธิบายก่อนหน้านี้พรม [8] มันเป็นบันทึกให้ อุปกรณ์ที่เกี่ยวข้องกับรูปแบบสำหรับกระบวนการ SACVD ซึ่งเป็นส่วนหนึ่งของการศึกษานี้ไม่สามารถร่วมการเปลี่ยนแปลงโครงสร้าง และทำทำงานไฟฟ้า

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในรูปแบบชั้น PECVD ส่วนหนึ่งของชั้นออกไซด์สมบูรณ์นอกเหนือไปจาก SACVD (เคมีย่อยบรรยากาศสะสมไอ) ชั้น คนหลังได้รับการจำลองรูปแบบการใช้สารตั้งต้นเดียวสำหรับไอสารเคมีสะสมอธิบายไว้ก่อนหน้า [8] มันจะต้องมีการตั้งข้อสังเกตการเปลี่ยนแปลงอุปกรณ์ที่เกี่ยวข้องว่าสำหรับกระบวนการ SACVD ที่ไม่ได้เป็นส่วนหนึ่งของการศึกษาครั้งนี้ยังสามารถนำไปสู่​​การเปลี่ยนแปลงของโครงสร้างและทำให้ผลการดำเนินงานไฟฟ้า

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

รูปแบบชั้น pecvd ส่วนหนึ่งของชั้นออกไซด์ที่สมบูรณ์นอกจาก sacvd ( ซับบรรยากาศไอสารเคมีสะสม ) ชั้น คนหลังถูกออกแบบโดยใช้รูปแบบเดียวเพื่อสะสมไอเคมี สารตั้งต้นที่อธิบายไว้ก่อนหน้านี้ [ 8 ]มันต้องเป็นข้อสังเกตว่า อุปกรณ์ที่เกี่ยวข้องกับการเปลี่ยนแปลงใน sacvd กระบวนการที่ไม่ได้เป็นส่วนหนึ่งของการศึกษานี้สามารถนำไปสู่การเปลี่ยนแปลงของโครงสร้าง และดังนั้นจึง ของการปฏิบัติงานไฟฟ้า