Fig. 3. Non-dimensional center gap

Fig. 3. Non-dimensional center gap versus the angular velocity
(Vbias = 2 V).

Fig. 4. Non-dimensional center gap versus the applied voltage for
different angular velocities.

Fig. 5. Non-dimensional center gap versus the angular velocity for
different applied bias voltages.

Fig. 6. Effects of the micro-beam’s widths on the resolution of the sensor.

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

รูป 3. ช่องว่างศูนย์ไม่มิติเมื่อเทียบกับความเร็วเชิงมุม
(Vbias = 2 V). รูป 4. ช่องว่างศูนย์ไม่มิติเมื่อเทียบกับแรงดันไฟฟ้าที่ใช้สำหรับความเร็วเชิงมุมที่แตกต่างกัน. รูป 5. ช่องว่างศูนย์ไม่มิติเมื่อเทียบกับความเร็วเชิงมุมสำหรับแรงดันไฟฟ้าที่ใช้อคติที่แตกต่างกัน. รูป 6. ผลกระทบของความกว้างไมโครคานบนความละเอียดของเซ็นเซอร์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

รูปที่ 3 ที่ไม่ใช่ศูนย์มิติช่องว่างเมื่อเทียบกับความเร็วเชิงมุม ( vbias =
2 v )

รูปที่ 4 ที่ไม่ใช่ศูนย์มิติช่องว่างเมื่อเทียบกับความต่างศักย์สำหรับความเร็วเชิงมุมแตกต่างกัน


รูปที่ 5 ที่ไม่ใช่ศูนย์มิติช่องว่างเมื่อเทียบกับความเร็วเชิงมุมสำหรับ
แตกต่างกันที่ใช้อคตินั้น

รูปที่ 6 ผลของความกว้างของไมโครคานบนความละเอียดของเซ็นเซอร์