2.2. Optical resonator fabricationT

2.2. Optical resonator fabrication
The toroidal cavities were fabricated using the standard three
step method which is detailed elsewhere (Armani et al., 2003).
Briefly, 160μm diameter 2μm thick circular oxide pads on a silicon wafer are patterned using a combination of photolithography
and buffered oxide etching. They are subsequently undercut using
XeF2, an isotropic silicon etchant. Finally, the oxide is reflowed
using a CO2laser, forming the toroidal resonant cavity (Fig. 2).
A tapered opticalfiber waveguide is fabricated using theflame
pulling method. In this approach, the cladding layer of single mode
opticalfiber is removed using wire strippers, and thefiber is
mounted on a pair of motorized stages, which pull in opposite
directions. While heating thefiber with an oxyhydrideflame, the
fiber is pulled until the waist region of the taper is approximately
600 nm in diameter, or smaller than the wavelength of light.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

2.2. optical resonator ประดิษฐ์ฟันผุทอรอยด์ถูกประดิษฐ์โดยใช้มาตรฐาน 3ขั้นตอนวิธีซึ่งมีรายละเอียดอื่น ๆ (Armani et al. 2003)สั้น ๆ 160μm เส้นผ่าศูนย์กลาง 2μm ออกไซด์หนาวงกลมแผ่นบนแผ่นซิลิคอนมีลายใช้การรวมกันของการสร้างลายวงจรด้วยแสงและแกะสลัก buffered ออกไซด์ พวกเขาถูกทำลายต่อมาใช้XeF2, etchant เป็น isotropic ซิลิคอน ในที่สุด ออกไซด์เป็น reflowedใช้ CO2laser ขึ้นรูปช่องเรโซแนนซ์ทอรอยด์ (2 รูป)ออก opticalfiber เรียวถูกประดิษฐ์โดยใช้ theflameดึงวิธี ในวิธีนี้ ชั้นกาบของโหมดเดี่ยวopticalfiber จะถูกเอาออกโดยใช้ลวดดำ และ thefiber เป็นบนระยะทาง ที่ดึงคู่ตรงข้ามทิศทาง ในขณะที่เครื่องทำความร้อน thefiber กับการ oxyhydrideflame การเส้นใยถูกดึงจนพื้นที่เอวของกรวยประมาณ600 นิวตันเมตรเส้นผ่านศูนย์ กลาง หรือน้อยกว่าความยาวคลื่นของแสง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

2.2 การผลิตแร่ Optical
โพรงวงแหวนถูกประดิษฐ์โดยใช้มาตรฐานสาม
วิธีการขั้นตอนซึ่งมีรายละเอียดอื่น ๆ (Armani et al., 2003).
สั้น ๆ , 160μmเส้นผ่าศูนย์กลาง2μmหนาแผ่นออกไซด์วงกลมบนเวเฟอร์ซิลิคอนลวดลายโดยใช้การรวม photolithography
และบัฟเฟอร์ออกไซด์ การแกะสลัก พวกเขาจะตัดราคาภายหลังใช้
XeF2 เป็น etchant ซิลิกอนแบบรอบทิศ สุดท้ายออกไซด์ที่มีการปรับใหม่
โดยใช้ CO2laser การสร้างโพรงจังหวะวงแหวน (รูปที่. 2).
ท่อนำคลื่น opticalfiber เรียวถูกประดิษฐ์โดยใช้ theflame
ดึงวิธี ในวิธีการนี้ชั้นหุ้มของโหมดเดียว
opticalfiber จะถูกลบออกโดยใช้ระบำลวดและ thefiber จะถูก
ติดตั้งอยู่บนคู่ของขั้นตอนการแข่งรถ, ที่ดึงตรงข้าม
ทิศทาง ในขณะที่ความร้อน thefiber กับ oxyhydrideflame ที่
เส้นใยถูกดึงจนภูมิภาคเอวเรียวจะอยู่ที่ประมาณ
600 นาโนเมตรเส้นผ่าศูนย์กลางหรือเล็กกว่าความยาวคลื่นของแสง

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

2.2 . ประกอบแสงเสียงฟันผุ toroidal ถูกประดิษฐ์ใช้สามมาตรฐานขั้นตอนวิธีการซึ่งมีรายละเอียดที่อื่น ( Armani et al . , 2003 )สั้น ๆ , 160 เมตรเส้นผ่าศูนย์กลาง 2 เมตร หนาμμออกไซด์บนวงกลมแผ่นซิลิคอนเวเฟอร์มีลวดลายโดยใช้การรวมกันของ 43ในการกัดและออกไซด์ . พวกเขาตัดราคาใช้ในภายหลังxef2 , etchant ซิลิคอนแบบ . ในที่สุด reflowed ออกไซด์คือใช้ ซีโอทู เลเซอร์ เป็นโพรงสั่นพ้อง toroidal ( รูปที่ 2 )ท่อนำคลื่นพติค ไฟเบอร์เรียวถูกประดิษฐ์โดยใช้ theflameการใช้วิธี ในวิธีการนี้ , cladding ชั้นของโหมดเดียวพติค ไฟเบอร์จะถูกลบออกโดยใช้ลวด strippers และ thefiber คือติดตั้งในคู่ของขั้นตอนทางซึ่งดึงในทิศทางตรงกันข้ามเส้นทาง ในขณะที่ความร้อน thefiber กับ oxyhydrideflame ,เส้นใยถูกดึงจนเอวของเรียวเขตประมาณขนาดเส้นผ่าศูนย์กลาง 600 นาโนเมตร หรือเล็กกว่าความยาวคลื่นของแสง