Several phenomena in HiPIMS dischar

Several phenomena in HiPIMS discharge are thus far dierent from other magnetron discharges, e.g DC, RF and pulsed-DC discharges. The physics of HiPIMS discharges has been reviewed by several authors e.g. Helmersson et al. [1], Sarakinos et al. [26], Anders [38], Lundin and Sarakinos [25] and Gudmundsson et al. [14].Base on these review articles, a brief overview of the physics involved with HiPIMS is summarised as the following paragraphs.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ปรากฏการณ์ต่าง ๆ ใน HiPIMS ปล่อยเป็นฉะนี้ดิerent อื่น ๆ ปล่อย magnetron เช่น DC, RF และ DC สูงปล่อย ฟิสิกส์ของการปล่อย HiPIMS มีการตรวจทาน โดยผู้เขียนหลายเช่น Helmersson และ al. [1], Sarakinos และ al. [26], Anders [38], Lundin และ Sarakinos [25] และ Gudmundsson et al. [14]ฐานด้านตรวจทานบทความ อธิบายภาพรวมของฟิสิกส์ที่เกี่ยวข้องกับ HiPIMS เป็น summarised เป็นย่อหน้าต่อไปนี้

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ปรากฏการณ์หลายในการปฏิบัติ HiPIMS มีป่านนี้ดิ? ต่างกันจากการปล่อยแมกอื่น ๆ เช่นซี RF และชีพจร-DC ปล่อย ฟิสิกส์ของการปล่อย HiPIMS ได้รับการตรวจสอบโดยผู้เขียนหลายเช่น Helmersson และคณะ [1], Sarakinos และคณะ [26] เดส [38] Lundin และ Sarakinos [25] และ Gudmundsson และคณะ [14] .Base บทความเหล่านี้ทบทวนภาพรวมคร่าวๆของฟิสิกส์ที่เกี่ยวข้องกับการ HiPIMS สรุปได้ย่อหน้าต่อไปนี้

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

หลายปรากฏการณ์ใน hipims จําหน่ายป่านนี้ตี้  erent จากการปล่อยโลหะอื่น ๆเช่น DC , RF และการไหล DC ฟิสิกส์ของ hipims discharges ได้รับการตรวจทานโดยผู้เขียนหลาย เช่น helmersson et al . [ 1 ] , sarakinos et al . [ 26 ] , Anders [ 38 ] , และ [ 25 ] และ sarakinos เลิร์ทดิน gudmundsson et al . [ 14 ] Base ในบทความรีวิวนี้อธิบายภาพรวมของฟิสิกส์ที่เกี่ยวข้องกับ hipims จะสรุปเป็นย่อหน้าต่อไปนี้