We described a novel MEFPI pressure

We described a novel MEFPI pressure sensor. Simple fabrication
processes have been developed to produce hermetic seals
and permit adjustment of the sensor gauge length to control
its pressure sensitivity. In addition, the length of the FP cavity
can be controlled with a resolution of several nanometers. The
sensor exhibited a very low temperature dependence

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เราอธิบายเซนเซอร์แรงดัน MEFPI นวนิยาย ผลิตง่ายได้รับการพัฒนากระบวนการผลิตซีลสุญญากาศและอนุญาตให้ปรับปรุงเซนเซอร์วัดความยาวการควบคุมความไวต่อแรงกด นอกจากนี้ ความยาวของโพรง FPสามารถควบคุมความละเอียดหลายนาโนเมตร การเซนเซอร์แสดงการพึ่งพาอุณหภูมิต่ำมาก

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เราอธิบายนวนิยายเซ็นเซอร์ความดัน MEFPI การประดิษฐ์ที่เรียบง่าย
กระบวนการได้รับการพัฒนาเพื่อผลิตผนึกสุญญากาศ
และการปรับใบอนุญาตของความยาววัดเซ็นเซอร์ในการควบคุม
ความไวความดัน นอกจากนี้ความยาวของช่อง FP ทางเลือก
สามารถควบคุมได้ด้วยความละเอียดของหลายนาโนเมตร
เซ็นเซอร์แสดงขึ้นอยู่กับอุณหภูมิที่ต่ำมาก