The RF discharge was housed in a 4-

The RF discharge was housed in a 4-way
cruciform stainless-steel vessel pumped by a
turbo-molecular pump backed by a rotary pump
to a base pressure order of 10
3 Pa. A schematic
diagram of the plasma reactor is shown in Fig. 1.
The chamber was grounded and argon gas
discharge was sustained through 13.56MHz RF
excitation at 20WRF power for two different
constant pressures (1.6 and 16 Pa).

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ปล่อย RF มีห้องพักแบบ 4เรือสแตนเลสเหล็ก cruciform สูบโดยมีโดยปั๊มโรตารี่ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลใบดันฐานของ Pa. 10 3 มีแผนผังวงจรแสดงไดอะแกรมของเครื่องปฏิกรณ์พลาสมาใน Fig. 1หอการค้าถูกสูตร และก๊าซอาร์กอนปล่อยที่ยั่งยืนผ่าน RF 13.56MHzในการกระตุ้นที่พลังงาน 20WRF สำหรับสองที่แตกต่างกันคงความดัน (Pa 1.6 และ 16)

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ปล่อย RF ตั้งอยู่ใน 4 ทิศทางกางเขนเรือสแตนเลสปั๊มโดยปั๊มเทอร์โบโมเลกุลโดยได้รับการสนับสนุนเครื่องสูบน้ำแบบหมุนสั่งดันฐานของ10 3 Pa. ให้วงจรแผนภาพของเครื่องปฏิกรณ์พลาสมาแสดงในรูป 1. ห้องถูกกักบริเวณและก๊าซอาร์กอนปล่อยได้รับการสนับสนุนผ่าน 13.56MHz RF กระตุ้นที่อำนาจ 20WRF ที่แตกต่างกันสองแรงกดดันอย่างต่อเนื่อง(1.6 และ 16 Pa)

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

RF จำหน่ายถูก housed ในโฟร์เวย์
ที่มีรูปร่างแบบไม้กางเขนสแตนเลสเรือสูบโดย
เทอร์โบปั๊มโมเลกุลได้รับการสนับสนุนโดย
ปั๊มโรตารี่กับแรงดันฐานสั่ง 10
3 . แผนภาพวงจร
ของพลาสมาเครื่องปฏิกรณ์จะแสดงในรูปที่ 1 .
ห้องถูกกักบริเวณและก๊าซอาร์กอน
จำหน่ายเป็น 13.56 Mhz ยั่งยืนผ่าน แบบที่ 20wrf พลังงาน RF

สองแตกต่างกันคงที่ความดัน ( 1.6 และ 16 PA )