by the thermally driven structure[1

by the thermally driven structure[13].As shown in the Fig.5, the
sensing capacity’s structure, is as same as the comb-driven
one,while its shielding electrodes,which are called the shutter
in Fig.5, are driven by the thermal actuator to move force and
back .

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

โดยโครงสร้างการขับเคลื่อนความร้อน [13] ตามที่แสดงใน Fig.5 การการตรวจวัดโครงสร้างของกำลังการผลิต เป็นเช่นเดียวกับการขับเคลื่อนหวีหนึ่ง ในขณะขั้วไฟฟ้าที่ป้องกัน ที่เรียกว่าชัตเตอร์ใน Fig.5 จะขับเคลื่อน โดยใช้ลมร้อนไปแรง และย้อนกลับ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

โดยโครงสร้างที่ขับเคลื่อนด้วยความร้อน [13] ้นแสดงใน Fig.5 ที่
โครงสร้างความจุการตรวจจับของเป็นเช่นเดียวกับหวีขับเคลื่อน
หนึ่งในขณะที่ขั้วไฟฟ้าป้องกันซึ่งจะเรียกว่าชัตเตอร์
ใน Fig.5, ถูกผลักดันด้วย ตัวกระตุ้นความร้อนแรงที่จะย้ายและ
กลับ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ซึ่งขับเคลื่อนโดยโครงสร้าง [ 13 ] ดังแสดงใน fig.5 ,โครงสร้างการผลิตของข้อมูล เป็นเหมือนหวี ขับเคลื่อนหนึ่ง ในขณะที่ป้องกันขั้วไฟฟ้าซึ่งจะเรียกว่าชัตเตอร์ใน fig.5 , ขับเคลื่อนโดยความร้อนแรง และตัวย้ายกลับมา