Electron Beam Machining5.3.1 Introd

Electron Beam Machining

5.3.1 Introduction

The earliest work of material removal utilizing an electron beam wasattributed to Steigerwald who designed a prototype machine in 1947.Electron beam machining (EBM) has been used in industry since the1960s, initially in nuclear and aerospace welding applications. Drilling small holes, cutting, engraving, and heat treatment are a set of modernapplications used in semiconductor manufacturing as well as micro-machining areas.Basic equipment and removal

mechanism

The main components of EBM installation, shown in Fig. 5.43 arehoused in a vacuum chamber, evacuated to about 10–4torr. The tungstenfilament cathode is heated to about 2500 to 3000°C in order to emitelectrons. Ameasure of this effect is the emission current, the magni-tude of which varies between 20 and 100 mA. Corresponding currentdensities lie between 5 and 15 A/cm2. Emission current depends on thecathode material, temperature, and the high voltage that is usuallyabout 150 kV. Such a high voltage accelerates a stream of electrons inthe direction of the workpiece. After acceleration, electrons, focused bythe field, travel through a hole in the anode. The electron beam isthen refocused by a magnetic or electronic lens system so that thebeam is directed under control toward the workpiece. The electronsmaintain the velocity (228 × 103km/s) imparted by the accelerationvoltage until they strike the workpiece, over a well-defined area, typ-ically 0.25 mm in diameter.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เครื่องจักรกลลำแสงอิเล็กตรอน5.3.1 แนะนำงานแรกสุดของการกำจัดวัสดุที่ใช้อิเล็กตรอนคาน wasattributed การชมผู้ออกแบบเครื่องต้นแบบในการคาน 1947.Electron มีการใช้ในอุตสาหกรรมเครื่องจักรกล (อี) ตั้งแต่ the1960s เริ่มต้นในงานเชื่อมนิวเคลียร์ และอวกาศ เจาะรูเล็ก ๆ ตัด แกะสลัก และรักษาความร้อนชุดของ modernapplications ที่ใช้ในการผลิตตลอดจนเครื่องจักรกลขนาดเล็กพื้นที่สารกึ่งตัวนำ อุปกรณ์พื้นฐานและการกำจัด กลไก ส่วนประกอบหลักของการติดตั้งอี แสดงในรูปที่ 5.43 arehoused ในห้องสุญญากาศ อพยพไปเกี่ยวกับ 10 – 4torr Tungstenfilament แคโทดจะมีความร้อนถึงประมาณ 2500 ถึง 3000° C เพื่อ emitelectrons Ameasure ผลกระทบของการปล่อยปัจจุบัน tude magni ซึ่งแตกต่างกันระหว่าง 20 และ 100 mA ได้ Currentdensities สอดคล้องอยู่ระหว่าง 5 และ 15 A/cm2 ปล่อยปัจจุบันขึ้นอยู่กับวัสดุ thecathode อุณหภูมิ และแรงดันสูงที่ usuallyabout 150 kV แรงดันไฟฟ้าดังกล่าวสูงเร่งกระแสอิเล็กตรอนในทิศทางของชิ้นงาน หลังจากเร่งความเร็ว อิเล็กตรอน เน้นโดยฟิลด์ เดินทางผ่านหลุมในขั้วบวก Isthen ลำแสงอิเล็กตรอนที่ refocused โดยระบบเลนส์แม่ เหล็กเพื่อให้ thebeam เป็นผู้กำกับควบคุมต่อชิ้นงาน Electronsmaintain ความเร็ว (228 × 103km/s) imparted โดยการ accelerationvoltage จนกว่าพวกเขาตีชิ้นงาน พื้นที่ชัดเจน ically ทั่วไปเส้นผ่าศูนย์กลาง 0.25 มม.

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ลำแสงอิเล็กตรอนเครื่องจักร5.3.1 เบื้องต้นงานแรกของวัสดุ การใช้ลำแสงอิเล็กตรอน wasattributed เพื่อ steigerwald ที่ออกแบบเครื่องจักรต้นแบบในปี 1947 ลำแสงอิเล็กตรอนเครื่องจักร ( EBM ) ถูกใช้ในอุตสาหกรรม ตั้งแต่ the1960s ตอนแรกในนิวเคลียร์และอวกาศงานเชื่อม การขุดเจาะหลุมขนาดเล็ก , ตัด , แกะสลักและการรักษาความร้อนเป็นชุดของ modernapplications ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์รวมทั้งพื้นที่เครื่องจักรขนาดเล็ก อุปกรณ์พื้นฐาน และ กำจัดกลไกองค์ประกอบหลักของการติดตั้ง EBM , แสดงในรูปที่ 5.43 arehoused ในสูญญากาศอพยพประมาณ 10 – 4torr . การ tungstenfilament แคโทดร้อนประมาณ 2500 กับ 3000 ° C เพื่อ emitelectrons . ameasure ของผลกระทบนี้จะเพิ่มปัจจุบัน แมคนิ tude ซึ่งแตกต่างกันระหว่าง 20 และ 100 ma currentdensities สอดคล้องกันอยู่ระหว่าง 5 และ 15 / cm2 การปล่อยในปัจจุบันขึ้นอยู่กับวัสดุ thecathode อุณหภูมิและแรงดันสูง ที่ usuallyabout 150 kV . เช่น แรงดันสูงเร่งกระแสของอิเล็กตรอนในทิศทางของชิ้นงาน หลังจากการเร่งอิเล็กตรอน ที่เน้นในด้านการเดินทางผ่านหลุมในขั้วบวก อิเล็กตรอนลำแสง 2540-2542 refocused โดยแม่เหล็ก หรือ ระบบเลนส์อิเล็กทรอนิกส์เพื่อให้ thebeam เป็นโดยตรงภายใต้การควบคุมต่อชิ้นงาน การ electronsmaintain ความเร็ว ( 228 × 103km / s ) imparted โดย accelerationvoltage จนกว่าพวกเขาจะหยุด ของชิ้นงาน บนพื้นที่ที่กำหนด , ประเภท ically 0.25 มม.