การสร้างละอองหมอกด้วย ปั๊มแรงดันสูง (high pressure pump) และหัวพ่นหมอก (Mist Nozzle) ใช้หลักการจ่ายน้ำผ่านรูขนาดเล็กมากๆ เพื่อให้หยดน้ำที่พ่นออกมามีการแตกตัวเป็นอณูเล็กๆ (Atomization) ซึ่งปั๊มแรงดันสูงที่ใช้มีแรงดันตั้งแต่ 35 บาร์ขึ้นไปจนถึง 3000 บาร์ แต่แรงดันที่ผู้ผลิตส่วนใหญ่นิยมใช้สำหรับระบบพัดลมไอน้ำ คือ 70 บาร์ หรือ 1,000 PSI ส่วนการเลือกอัตราการไหลของปั๊มที่จะใช้ ขึ้นอยู่กับปัจจัย เช่น จำนวนของหัวพ่นหมอกในระบบ และความยาวรวมของท่อทางในระบบ เป็นหลัก
หัวพ่นหมอก (Mist Nozzle) ที่นิยมใช้กันมาก มีขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางรูพ่น (Orifice) ตั้งแต่ 0.1 - 0.4 mm รูพ่นที่มีขนาดเล็กนี้ ผลิตโดยวิธีการใช้เลเซอร์ยิง ทำให้สามารถเจาะรูที่มีขนาดเล็กกว่าเส้นผมถึง 10 เท่า หัวพ่นหมอกได้มีการพัฒนาอย่างต่อเนื่อง จากเดิมที่มีแค่ระบบกันหยด (มีสปริงทำหน้าที่เป็นตัวเชควาล์ว กันน้ำหยดในตัวของ nozzle) ปัจจุบันมีระบบไส้กรองภายใน ระบบถอดทำความสะอาดง่าย และอื่นๆ หัวพ่นหมอกเป็นนาโนเทคโนโลยีชนิดหนึ่ง เมื่อจ่ายน้ำที่มีแรงดันสูงผ่าน จะทำให้เกิดละอองน้ำขนาด 5 ไมครอน ซึ่งเล็กมาก ทำให้สามารถระเหยได้โดยฉับพลัน (Flash Evaporation) ในกระบวนการระเหยนี้ ละอองหมอกจะดูดซับเอาความร้อนจากอากาศรอบตัว ทำให้อุณหภูมิของอากาศลดลง เรายังสามารถเพิ่มอัตราการระเหยได้ด้วยการเพิ่มพัดลม ทำให้ส่งไอน้ำได้ไกลขึ้นไปอีกด้วยแรงลมจากพัดลม