Theremaining area of the wafer is n

The
remaining area of the wafer is not patterned, and this has a serious effect on the CMP

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ที่ไม่ลวดลายของแผ่นเวเฟอร์เหลือ และมีผลร้ายแรงในการ CMP

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

พื้นที่ที่เหลืออยู่ของเวเฟอร์ไม่ได้มีลวดลายและเรื่องนี้มีผลกระทบอย่างรุนแรงต่อ CMP

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เหลือพื้นที่ของเวเฟอร์ ไม่มีลวดลาย และมี ผลต่อประสิทธิภาพร้ายแรง