Roughing valve was used for evacuat

Roughing valve was used for evacuating the plasma chamber and the gases were delivered via gas inlet valve.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

วาล์วหยาบใช้สำหรับอพยพหอพลาสม่า และแก๊สถูกส่งผ่านวาล์วทางเข้าของแก๊ส

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

หยาบวาล์วที่ใช้สำหรับการอพยพห้องพลาสม่าและก๊าซที่ถูกส่งผ่านทางวาล์วก๊าซ