Diagram for TMAH etching. The top o

Diagram for TMAH etching. The top ones are the masks, and
the bottom ones give the etched results. In case a, a big square opening
whose edge is along the (110) direction is used. The sidewalls are the
slowest etching planes-(111) planes and the bottom is a (100) plane. In
case b, the mask is similar to that of case a, just the size is smaller, so
those (111) planes meet together at the bottom, thus forming a pyramid
shape. In case c, a rotated square is used, and now the edge is along
the (100) direction. In this situation, the vertical (100) planes appear as
sidewalls, and the (111) planes expose on the corners.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ไดอะแกรมสำหรับกัด TMAH สุดเป็นมาสก์ และคนด้านล่างให้ผลลัก ในกรณี แบบเปิดขนาดใหญ่มีขอบตามทิศทาง (110) เป็นใช้ Sidewalls มีการช้าที่สุดแกะสลักเครื่องบิน planes-(111) และด้านล่างเป็นระนาบ (100) ในกรณี b รูปแบบการจะคล้ายกับกรณี เฉพาะขนาดเล็กลง ดังนั้นเครื่องบินเหล่านั้น (111) พบกันที่ด้านล่าง ขึ้นรูปพีระมิดจึงรูปร่าง ในกรณี c ใช้ตารางหมุน และตอนนี้ ขอบเป็นไปตามทิศทาง (100) ในสถานการณ์นี้ บิน (100) แนวตั้งปรากฏเป็นsidewalls และเครื่องบิน (111) เปิดเผยในมุม

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

แผนภาพสำหรับการแกะสลัก TMAH
คนชั้นนำที่มีหน้ากากและคนด้านล่างให้ผลลัพธ์ที่แกะสลัก ในกรณีที่เป็นตารางเปิดขนาดใหญ่ที่มีขอบเป็นไปตาม (110) ทิศทางที่ถูกนำมาใช้
ชิดมีการแกะสลักที่ช้าที่สุด planes- (111) เครื่องบินและด้านล่างเป็น (100) เครื่องบิน ในกรณีที่ขหน้ากากจะคล้ายกับที่ของคดีเพียงขนาดเล็กเพื่อให้ผู้ที่(111) เครื่องบินพบกันที่ด้านล่างจึงสร้างปิรามิดรูปร่าง ในกรณีที่ค, ตารางหมุนถูกนำมาใช้และตอนนี้ขอบเป็นไปตามนี้(100) ทิศทาง ในสถานการณ์เช่นนี้ในแนวตั้ง (100) เครื่องบินปรากฏเป็นชิดและ(111) เปิดเผยเครื่องบินที่มุม

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

แผนภาพสำหรับ tmah แกะสลัก . คนด้านบนเป็นหน้ากาก และที่ด้านล่างให้ฝัง
ผลลัพธ์ ในกรณีที่ ใหญ่สี่เหลี่ยมเปิด
ที่มีขอบริม ( 110 ) ทิศทางใช้ กำแพงด้านข้างเป็น
ช้าที่สุดเครื่องบินแกะสลัก - ( 111 ) เครื่องบิน และด้านล่างเป็น ( 100 ) เครื่องบิน ใน
B , หน้ากากจะคล้ายกับที่ของกรณีเป็นเพียงขนาดเล็ก ดังนั้น
เหล่านั้น ( 111 ) เครื่องบินพบกันที่ด้านล่างจึงสร้างพีระมิด
รูปร่าง ในกรณีที่ C , หมุนตารางจะใช้ และตอนนี้ขอบด้วย
( 100 ) ทิศทาง ในสถานการณ์นี้ , แนวตั้ง ( 100 ) เครื่องบินปรากฏเป็น
sidewalls และ ( 111 ) เครื่องบินเปิดเผย
บนมุม