A similar decrease in the thickness

A similar decrease in the thickness was also observed with increasing Ar flow rate from 2 to 8 sccm at an HMDSO flow rate of 1.0 g/h

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ลดความหนาลงคล้ายถูกยังสังเกต ด้วยเพิ่ม Ar อัตราการไหลจาก 2 กับ 8 sccm ที่อัตราการไหล HMDSO 1.0 g/h

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ลดลงในความหนาที่คล้ายกันนอกจากนี้ยังพบว่ามีการเพิ่มอัตราการไหลเท่น 2-8 SCCM ที่อัตราการไหล HMDSO 1.0 กรัม / ชั่วโมง

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ลดลงที่คล้ายกันในความหนา พบว่า เพิ่มอัตราการไหลของ AR จาก 2 ถึง 8 sccm ที่ hmdso อัตราการไหล 1.0 g / H