CONCLUSIONS• Plasma discharges are

CONCLUSIONS
• Plasma discharges are widely used for materials processing and
are indispensible for microelectronics fabrication
• The coupling of the equations for the fields and the charged
particles is the key to plasma analysis
• Neutral particles play a key role in ionization, energy loss, and
diffusion processes in discharges
• The particle and energy balance relations are the key to the
analysis of discharge equilibrium
• The particle balance determines the electron temperature; the
energy balance determines the plasma density
• A transformer model along with the particle and energy balance
relations are the key to the analysis of inductive discharges

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

บทสรุป•ปล่อยพลาสมาใช้สำหรับวัสดุการประมวลผล และโชยสำหรับผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์•คลัปสมการฟิลด์และการเรียกเก็บอนุภาคเป็นกุญแจสำคัญในการช่วยวิเคราะห์•อนุภาคที่เป็นกลางมีบทบาทสำคัญในการไอออไนซ์ สูญเสียพลังงาน และกระบวนการแพร่ในปล่อย•อนุภาคและพลังงานสมดุลสัมพันธ์เป็นกุญแจไปสู่การวิเคราะห์สมดุลปล่อย•ปรับสมดุลอนุภาคกำหนดอุณหภูมิอิเล็กตรอน การสมดุลพลังงานกำหนดความหนาแน่นของพลาสมา•แบบจำลองหม้อแปลงพร้อมกับความสมดุลของอนุภาคและพลังงานความสัมพันธ์เป็นกุญแจสำคัญในการวิเคราะห์ของการเหนี่ยวนำปล่อย

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

สรุป
•ปล่อยพลาสม่าที่มีการใช้กันอย่างแพร่หลายสำหรับการประมวลผลวัสดุและ
มีความจำเป็นสำหรับการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์
•มีเพศสัมพันธ์ของสมการสำหรับทุ่งนาและเรียกเก็บ
อนุภาคเป็นกุญแจสำคัญในการวิเคราะห์พลาสม่า
•อนุภาคที่เป็นกลางมีบทบาทสำคัญในการไอออไนซ์, การสูญเสียพลังงานและ
การแพร่กระจาย กระบวนการในการปล่อย
•อนุภาคและพลังงานความสัมพันธ์ที่สมดุลเป็นกุญแจสำคัญในการ
วิเคราะห์ของสมดุลปล่อย
•เงินอนุภาคกำหนดอุณหภูมิอิเล็กตรอน;
สมดุลพลังงานกำหนดความหนาแน่นของพลาสม่า
•รูปแบบหม้อแปลงพร้อมกับอนุภาคและพลังงานสมดุล
ความสัมพันธ์ที่เป็นกุญแจสำคัญในการวิเคราะห์ของการปล่อยอุปนัย

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

สรุป- อัตราการไหลของพลาสมาที่ใช้กันอย่างแพร่หลายและวัสดุจะขาดไม่ได้สำหรับเทคโนโลยีการผลิต- การแต่งงานของสมการสนามและค่าใช้จ่ายอนุภาคคือ คีย์เพื่อการวิเคราะห์พลาสมา- เป็นกลางอนุภาคมีบทบาทสำคัญในการทำให้เป็นละออง การสูญเสียพลังงาน และกระบวนการแพร่ในอัตราการไหล- อนุภาคและพลังงานสมดุลความสัมพันธ์เป็นกุญแจการวิเคราะห์ดุลยภาพจำหน่าย- ความสมดุลของอนุภาคอิเล็กตรอนที่อุณหภูมิที่กำหนด ;สมดุลพลังงานกำหนดความหนาแน่นพลาสมา- หม้อแปลงแบบพร้อมกับอนุภาคและพลังงานสมดุลความสัมพันธ์ที่เป็นกุญแจสำคัญในการวิเคราะห์การไหล