In this work, the n-type FET chips

In this work, the n-type FET chips were fabricated by Toppan Co.,Ltd. (Japan).Each FET chip consist of two gate electrodes in which the gate oxide surface is SiO2 layer on the Si substrate with a size of 1000 m in width and 10 m in length. All electrical measurements were performed using a digital source meter (Keithley 2612). X-rayphotoelectron spectroscopy (XPS) analysis was carried out for the specimens prepared not on FET chip but on Si wafer with SiO2 layer using a micro XPS instrument (PHI-5000 Versa Probe WS, ULVAC-PHI Inc.) with monochromatic Al K X-ray source.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ในงานนี้ ชิ FET ชนิด n ถูกประดิษฐ์ โดยนโม Co., Ltd. (ญี่ปุ่น) แต่ละชิ FET ประกอบด้วยอิเล็กโทรดสองประตูซึ่งประตูออกไซด์ผิวมีชั้น SiO2 บนพื้นผิวในขนาด 1000 เมตร ในความกว้าง และยาว 10 m วัดไฟฟ้าได้ทั้งหมดถูกดำเนินการโดยใช้เครื่องวัดแบบดิจิทัลมา (Keithley 2612) X rayphotoelectron มิก (XPS) วิเคราะห์ถูกดำเนินการสำหรับตัวอย่างเตรียมชิ FET แต่ บนแผ่นเวเฟอร์ซิไม่ มีชั้น SiO2 ด้วยมนตร์ Al K X-ray แหล่งเครื่อง XPS ไมโคร (พีพี-5000 กลับหัว WS, ULVAC พีพี Inc.)

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในงานนี้ชิป FET ชนิดเอ็นถูกประดิษฐ์โดย Toppan จำกัด ชิป (ญี่ปุ่น) .Each FET ประกอบด้วยสองขั้วไฟฟ้าประตูที่พื้นผิวประตูออกไซด์เป็นชั้น SiO2 บนพื้นผิวสีที่มีขนาดของ 1000? เมตรกว้างและ 10 เมตรยาว วัดไฟฟ้าทั้งหมดถูกดำเนินการโดยใช้เครื่องวัดแหล่งดิจิตอล (Keithley 2612) X-rayphotoelectron สเปกโทรสโก (XPS) การวิเคราะห์ได้ดำเนินการสำหรับตัวอย่างที่จัดทำขึ้นไม่ได้อยู่ในชิป FET แต่ในศรีเวเฟอร์ด้วยชั้น SiO2 ใช้เครื่องมือไมโคร XPS (พี 5000 Versa Probe WS, ULVAC พีอิงค์) ที่มีสีเดียวอัล K? แหล่งที่มาเอ็กซ์เรย์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ในงานนี้ โดยทั่วไปสามารถชิปประดิษฐ์โดยทบพันจำกัด ( ประเทศญี่ปุ่น ) แต่ละเฟตชิปประกอบด้วยขั้วไฟฟ้าประตูสองประตู ออกไซด์ที่ผิวชั้นซิลิกอนไดออกไซด์ในจังหวัด ( มีขนาด 1000 เมตรกว้าง 10 เมตรในความยาว การวัดไฟฟ้าทั้งหมดคือการใช้เครื่องวัดแหล่งดิจิตอล ( คีธลี่ 2612 ) x-rayphotoelectron สเปกโทรสโกปี ( XPS ) วิเคราะห์หาชิ้นงานที่เตรียมไม่เฟตชิปแต่ศรีเวเฟอร์ที่มีชั้นซิลิกอนไดออกไซด์โดยใช้เครื่องมือ XPS ( phi-5000 ในทางกลับกันไมโครโพรบ WS , ulvac-phi Inc . ) ด้วย monochromatic ล K แหล่งกำเนิดรังสีเอ็กซ์ .