Since the cross-flow in the ALD reac

Since the cross-flow in the ALD reactor has multiple gas species, the multicomponent diffusion and convection can be described by the generalized Stefan–Maxwell equation [18],

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เนื่องจาก flow ข้ามในเครื่องปฏิกรณ์ ALD มีแก๊สหลายชนิด แพร่ multicomponent และการพาสามารถอธิบาย โดยสมการของ Stefan – แมกซ์เวลล์เมจแบบทั่วไป [18],

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ตั้งแต่ข้ามชั้นโอ๊ยในเครื่องปฏิกรณ์ ALD ได้สายพันธุ์ก๊าซหลายหลายองคการแพร่และการพาความร้อนสามารถอธิบายโดยทั่วไป Stefan-แมกซ์เวลสมการ [18]

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ตั้งแต่ข้ามflโอ๊ยในเครื่องปฏิกรณ์ชนิดหลายแก๊ส ald การแพร่กระจายองค์ประกอบการพาความร้อนและสามารถอธิบายได้โดยทั่วไปและสมการแมกซ์เวลล์ สเตฟาน [ 18 ]