A novel cavity-first method was ada

A novel cavity-first method was adapted to the fabrication process of a planar vibration sensor. First, the proof mass was under etched, after which the etch holes that were created in the proof mass in order to release them by under etching were filled with a fluoropolymer. After this planarization step, metal interconnects were patterned. By using the novel cavity-first micromachining process, a planar mode piezoresistive vibration sensor was successfully fabricated with both a simple structure and fewer packaging difficulties. Several significant case studies of random vibrations, TTH signal waves, and earthquake waves were evaluated comprehensively. We also measured the output noise spectral density of the fabricated sensor. In doing so, one of most important mechanical properties of the given planar sensor can be understood. By comparing the response results, the planar sensor exhibited performance that was comparable to that of a high-quality commercial device.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

วิธีแรกช่องนวนิยายถูกปรับให้เข้ากับกระบวนการผลิตของระนาบการสั่นเซ็นเซอร์ ครั้งแรก มวลหลักฐานถูกต่ำกว่าลูกแกะสลัก หลังจากนั้นหลุม etch ที่สร้างขึ้นในมวลหลักฐานเพื่อปล่อยโดยภายใต้การกัด เต็มไป ด้วย fluoropolymer หลังจากขั้นตอนนี้ planarization การเชื่อมต่อโลหะมีลวดลาย โดยใช้กระบวนการ micromachining ช่องแรกนวนิยาย เซอร์สั่นสะเทือน piezoresistive โหมดระนาบเรียบร้อยถูกประดิษฐ์ ด้วยโครงสร้างเรียบง่ายและปัญหาบรรจุภัณฑ์น้อยลง กรณีศึกษาสำคัญหลายการสั่นสะเทือนแบบสุ่ม TTH สัญญาณคลื่น คลื่นแผ่นดินไหว และประเมินได้ครบถ้วน นอกจากนี้เรายังวัดเอาท์พุทเสียงสเปกตรัมความหนาแน่นของเซนเซอร์ประดิษฐ์ ในการทำเช่นนั้น คุณสมบัติทางกลที่สำคัญที่สุดของระนาบเซ็นเซอร์กำหนดอย่างใดอย่างหนึ่งสามารถเข้าใจ โดยการเปรียบเทียบผลการตอบสนอง เซ็นเซอร์ระนาบแสดงประสิทธิภาพที่เทียบได้กับที่ของอุปกรณ์เชิงพาณิชย์คุณภาพสูง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

นวนิยายวิธีโพรงแรกที่ได้รับไปปรับใช้กับกระบวนการผลิตของเซ็นเซอร์ระนาบการสั่นสะเทือน ก่อนที่มวลหลักฐานอยู่ภายใต้การฝังหลังจากที่หลุมจำหลักที่ถูกสร้างขึ้นในมวลหลักฐานเพื่อที่จะปล่อยพวกเขาโดยอยู่ภายใต้การแกะสลักที่เต็มไปด้วย fluoropolymer หลังจากขั้นตอน planarization นี้อุปกรณ์เชื่อมโลหะลวดลาย โดยใช้กระบวนการไมโครช่องแรกนวนิยายโหมดระนาบเซ็นเซอร์สั่นสะเทือน piezoresistive ประดิษฐ์ประสบความสำเร็จกับทั้งโครงสร้างที่เรียบง่ายและความยากลำบากบรรจุภัณฑ์น้อยลง หลายกรณีศึกษาที่สำคัญของการสั่นสะเทือนแบบสุ่มคลื่นสัญญาณ TTH และคลื่นแผ่นดินไหวได้รับการประเมินอย่างทั่วถึง นอกจากนี้เรายังวัดเสียงเอาท์พุทหนาแน่นสเปกตรัมของเซ็นเซอร์ประดิษฐ์ ในการทำเช่นหนึ่งในคุณสมบัติทางกลที่สำคัญที่สุดของเซ็นเซอร์ภาพถ่ายที่ได้รับสามารถเข้าใจได้ โดยการเปรียบเทียบผลการตอบสนองเซ็นเซอร์ภาพถ่ายแสดงประสิทธิภาพการทำงานที่เป็นเทียบเท่ากับที่ของอุปกรณ์ในเชิงพาณิชย์ที่มีคุณภาพสูง

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ช่องใหม่วิธีแรกคือปรับกระบวนการผลิตแบบระนาบเซ็นเซอร์ แรก , การพิสูจน์มวลถูกฝังหลังจากการกัดหลุมที่ถูกสร้างขึ้นในการพิสูจน์มวลเพื่อปลดปล่อยพวกเขา โดยภายใต้การอิ่มกับฟลู โรพอลิเมอร์ . หลังจากขั้นตอนนี้ planarization โลหะเชื่อมมีลวดลาย โดยการใช้นวนิยายช่องแรก micromachining กระบวนการระนาบเซ็นเซอร์ Piezoresistive โหมดการสั่นสะเทือนได้ประดิษฐ์ทั้งโครงสร้าง และความยากง่ายบรรจุภัณฑ์น้อยลง หลาย ๆ อย่างกรณีศึกษาของการสั่นสะเทือนแบบคลื่นสัญญาณคลื่นแผ่นดินไหว ได้แก่ ปวดศีรษะ และทั่วถึง เรายังวัดสัญญาณรบกวนออกความหนาแน่นสเปกตรัมของประดิษฐ์เซ็นเซอร์ ในการทำเช่นนั้น หนึ่งในที่สำคัญที่สุดคุณสมบัติเชิงกลของระนาบเซ็นเซอร์ให้สามารถเข้าใจได้ โดยการเปรียบเทียบผลการตอบสนอง , ระนาบเซ็นเซอร์ มีสมรรถนะที่เทียบเท่ากับที่ของที่มีคุณภาพสูงเชิงพาณิชย์อุปกรณ์