3.2. Surface morphologiesThe SEM su

3.2. Surface morphologies

The SEM surface micrographs of BaTiO3 thin films deposited under different pressures are shown in Fig. 2. It can be seen that the grain size becomes larger with increasing working pressure.

At 2.9 Pa, the grain boundaries are not clear. The film deposited at 3.5 Pa shows clear grain boundaries. But the grain size is not uniform. The film deposited at 4.0 Pa exhibits a smooth and densely packed structure with homogeneous grains. The average grain size is about 80 nm. However, when deposited at higher pressure, like 4.5 Pa, the film exhibits more pores compared with the film prepared at 4.0 Pa.
The surface morphologies of BaTiO3 thin films was examined by an atomic force microscope. Fig. 3 shows the results for the films deposited from 550 1C to 750 1C. The roughness in RMS with the different depoisiton tempera-tures is 3.0 nm, 5.1 nm, 2.4 nm, 8.5 nm and 11.4 nm, respectively. The roughness of the films significantly increases when deposited above 650 1C. This result can be attributed to the following: the energetic particle bombard-ment on the growing film that leads to the ejection of previously deposited atoms, and the formation of islands which grow large enough to touch and coalescence during nucleation and growth on the substrate [10]. For the substrate temperature from 650 1C to 750 1C, it is likely that the particles arrive in the substrate with high energy and cross the energy barrier of nucleation. These high energy particles are more likely to develop into films with high porosity and high roughness [11].

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

3.2. surface morphologiesMicrographs ผิว SEM ของ BaTiO3 ฟิล์มบางฝากภายใต้แรงกดดันต่าง ๆ จะแสดงในรูปที่ 2 จะเห็นได้ว่า ขนาดเม็ดจะใหญ่กว่า ด้วยการเพิ่มความดันทำงานที่ 2.9 Pa ขอบเกรนจะไม่ชัดเจน ฟิล์มฝากที่ 3.5 Pa แสดงชัดเจนแป แต่ขนาดเม็ดไม่สม่ำเสมอ ฟิล์มฝากที่ 4.0 Pa แสดงโครงสร้างเรียบ และหนาแน่นบรรจุ มีธัญพืชเนื้อเดียวกัน มีขนาดเมล็ดเฉลี่ยประมาณ 80 nm อย่างไรก็ตาม เมื่อฝากที่แรงดันสูง เช่น 4.5 Pa รูขุมขนมากขึ้นเมื่อเทียบกับฟิล์มเตรียมที่ 4.0 แสดงภาพยนตร์อยู่มีการตรวจสอบ morphologies ผิวฟิล์มบางของ BaTiO3 โดยกล้องจุลทรรศน์แรงอะตอมเป็น รูป 3 แสดงผลลัพธ์สำหรับฟิล์มฝาก 550 1C ไป 750 1C. ขรุขระใน RMS กับ depoisiton แตกต่างกันสีฝุ่น-tures เป็น 3.0 nm, 5.1 nm, 2.4 nm, 8.5 nm และ 11.4 nm ตามลำดับ ของภาพยนตร์เพิ่มเมื่อฝากข้าง 650 1C. ผลการค้นหานี้สามารถนำมาประกอบต่อไปนี้: ถล่ม-ment อนุภาคพลังฟิล์มเติบโตที่นำไปออกของก่อนหน้านี้ฝากอะตอม และการก่อตัวของเกาะซึ่งเติบใหญ่พอสัมผัสและ coalescence ระหว่าง nucleation และเติบโตบนพื้นผิว [10] อุณหภูมิพื้นผิวจาก 650 1C ไป 750 1C เป็นไปได้ว่า อนุภาคในสารตั้งต้นมีพลังงานสูง และข้ามอุปสรรคพลังงานของ nucleation อนุภาคพลังงานสูงเหล่านี้มีแนวโน้มที่จะพัฒนาเป็นภาพยนตร์ มีความพรุนสูงและขรุขระสูง [11]

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

3.2 พื้นผิวรูปร่างลักษณะ

รุ่น sem ไมโครพื้นผิวของฟิล์มบาง BaTiO3 ฝากภายใต้แรงกดดันที่แตกต่างกันจะแสดงในรูป 2. มันสามารถจะเห็นได้ว่าขนาดของเมล็ดข้าวจะกลายเป็นขนาดใหญ่ที่มีการเพิ่มความดันในการทำงาน.

2.9 ป่าข้าวเขตแดนยังไม่ชัดเจน ภาพยนตร์เรื่องนี้นำไปฝากไว้ที่ 3.5 แสดงให้เห็นป่าข้าวเขตแดนที่ชัดเจน แต่ขนาดของเมล็ดข้าวไม่สม่ำเสมอ ภาพยนตร์เรื่องนี้นำไปฝากไว้ที่ 4.0 การจัดแสดงนิทรรศการป่าโครงสร้างเรียบและบรรจุหนาแน่นไปด้วยธัญพืชที่เป็นเนื้อเดียวกัน ขนาดของเมล็ดข้าวเฉลี่ยอยู่ที่ประมาณ 80 นาโนเมตร แต่เมื่อนำไปฝากไว้ที่ความดันสูงขึ้นเช่น 4.5 Pa ฟิล์มจัดแสดงนิทรรศการรูขุมขนมากขึ้นเมื่อเทียบกับฟิล์มเตรียมที่ 4.0 Pa.
รูปร่างลักษณะพื้นผิวของฟิล์มบาง BaTiO3 ได้รับการตรวจสอบโดยกล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม มะเดื่อ. 3 แสดงผลสำหรับภาพยนตร์ที่ฝากจาก 550 1C 750 1C ความขรุขระใน RMS กับที่แตกต่างกัน depoisiton อุบาทว์-Tures 3.0 นาโนเมตร 5.1 นาโนเมตร 2.4 นาโนเมตร 8.5 นาโนเมตรและ 11.4 นาโนเมตรตามลำดับ ความขรุขระของภาพยนตร์อย่างมีนัยสำคัญเพิ่มขึ้นเมื่อฝากข้างต้น 650 1C ผลที่ได้นี้สามารถนำมาประกอบต่อไปนี้: พลังอนุภาคถล่ม-ment ในภาพยนตร์ที่กำลังเติบโตที่นำไปสู่การออกของอะตอมฝากก่อนหน้านี้และการก่อตัวของหมู่เกาะซึ่งขยายขนาดใหญ่พอที่จะสัมผัสและการเชื่อมต่อกันระหว่างนิวเคลียสและการเจริญเติบโตบนพื้นผิว [ 10] สำหรับอุณหภูมิพื้นผิวจาก 650 1C 750 1C ก็มีแนวโน้มว่าอนุภาคมาถึงในพื้นผิวที่มีพลังงานสูงและข้ามอุปสรรคการใช้พลังงานของนิวเคลียส เหล่านี้อนุภาคพลังงานสูงมีแนวโน้มที่จะพัฒนาไปสู่ภาพยนตร์ที่มีความพรุนสูงและความขรุขระสูง [11]

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

3.2 . โครงสร้างพื้นผิวเส้ม micrographs batio3 พื้นผิวของฟิล์มบางภายใต้แรงกดดันต่าง ๆได้แสดงในรูปที่ 2 จะเห็นได้ว่า ขนาดเม็ดจะใหญ่ด้วยการเพิ่มแรงดันใช้งาน .2.9 PA , รอยเม็ดจะไม่ชัดเจน ฟิล์มฝากที่ 3.5 PA แสดงขอบเขตลายไม้ชัดเจน แต่เม็ดขนาดไม่สม่ำเสมอ ฟิล์มฝากที่ PA 4.0 จัดแสดงเรียบและหนาแน่นมีโครงสร้างเป็นธัญพืช เม็ดขนาดโดยเฉลี่ยประมาณ 80 นาโนเมตร อย่างไรก็ตาม เมื่อฝากเงินที่ความดันสูงกว่า เช่น 4.5 PA , ฟิล์มแสดงรูมากขึ้นเมื่อเทียบกับฟิล์มที่เตรียมไว้ที่ 4.0 .ลักษณะพื้นผิวของฟิล์มบาง batio3 ถูกตรวจสอบด้วยกล้องจุลทรรศน์แรงอะตอม รูปที่ 3 แสดงผลสำหรับภาพยนตร์ฝากจาก 550 ใน 750 1c ความหยาบใน RMS ที่แตกต่าง depoisiton สีฝุ่น ตูเรสเป็น 3.0 nm , 5.1 nm , 2.4 nm , 8.5 นาโนเมตรและ 11.4 nm ตามลำดับ ผิวของฟิล์มเพิ่มขึ้นอย่างมีนัยสำคัญเมื่อฝากเหนือ 650 c . ผลนี้สามารถนำมาประกอบกับต่อไปนี้ : อนุภาคพลังติดขัดในการระดมยิงฟิล์มที่นำออกของก่อนหน้านี้ที่ฝากอะตอม และการก่อตัวของเกาะซึ่งเติบโตมากพอที่จะสัมผัสและการรวมตัวระหว่างขนาดและการเจริญเติบโตบนพื้นผิว [ 10 ] . สำหรับพื้นผิวอุณหภูมิ 650 c 750 ใน มันคือโอกาสที่อนุภาคมาถึงพื้นผิวที่มีพลังงานสูงและข้ามอุปสรรคของ nucleation พลังงาน . อนุภาคพลังงานสูงเหล่านี้มีแนวโน้มที่จะพัฒนาเป็นฟิล์มที่มีรูพรุนสูงและความหยาบสูง [ 11 ]