Inrecent years, the MEMS technology

In
recent years, the MEMS technology has been used to fabricate
EFS, and gigantic achievement has been made. In this paper, the
mechanisms of these three main kinds of the EFS were
introduced, including the rotating electric field mill, MEMS
electrostatic field meter and the integrated Optical E-field Sensor.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ในปี เทคโนโลยี MEMS ที่ใช้ในการประดิษฐ์EFS และยักษ์สำเร็จแล้ว ในกระดาษนี้ การกลไกเหล่านี้สามชนิดหลักการ EFS ได้แนะนำ รวมทั้งการหมุนสนามไฟฟ้าโรงงาน MEMSวัดสนามไฟฟ้าสถิตและ E ฟิลด์เซ็นเซอร์รวมของแสง

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ใน
ปีที่ผ่านมาเทคโนโลยีเมมส์ได้ถูกนำมาใช้ในการประดิษฐ์
EFS, และความสำเร็จขนาดใหญ่ได้รับการทำ ในกระดาษนี้
กลไกของทั้งสามชนิดหลักของ EFS ถูก
นำมารวมทั้งการหมุน Mill สนามไฟฟ้า MEMS
เมตรสนามไฟฟ้าสถิตและเซนเซอร์ E-ข้อมูลแบบบูรณาการออปติคอล

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ในปีล่าสุด , MEMS เทคโนโลยีได้ถูกใช้เพื่อสานEFS และสูงใหญ่ สำเร็จได้ด้วย ในกระดาษนี้กลไกเหล่านี้ชนิดหลักสามของ EFS คือแนะนำ รวมทั้งการหมุนของสนามไฟฟ้าโรงสี MEMS ,เครื่องวัดไฟฟ้าสถิตและบูรณาการด้าน e-field optical sensor