The two independent, parallel CMP W

The two independent, parallel CMP WWT systems are each configured as indicated in Fig. 2. Slurry waste flowing from CMP tools in the cleanroom first accumulates in the slurry lift tank. When this tank fills, the liquid is pumped through a series of filters. The first filter is the “pre-filter,” and consists of a steel drum containing a polyester “bag filter” and is intended to remove large sediments (15 μm pores).

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

สองอิสระ ขนาน CMP WWT ระบบแต่ละกำหนดตามที่ระบุใน Fig. 2 น้ำเสียที่ไหลจากมือ CMP ในคลีนรูมแรกสะสมในถังสารละลายยก เมื่อถังนี้เต็ม ของเหลวถูกสูบผ่านชุดของตัวกรอง ตัวแรกเป็นตัว "ก่อนกรอง และประกอบด้วยกลองเหล็กประกอบด้วยโพลีเอสเตอร์"ถุงกรอง" และมีวัตถุประสงค์เพื่อเอาตะกอนขนาดใหญ่ (15 μm รูขุมขน)

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

สองอิสระระบบขนาน CMP WWT แต่ละกำหนดค่าตามที่ระบุไว้ในรูป 2. เสียถนนลาดยางไหลจากเครื่องมือ CMP ในคลีนรูมแรกที่สะสมอยู่ในถังผสมลิฟท์ เมื่อถังนี้เติมของเหลวจะถูกสูบผ่านชุดของตัวกรอง กลั่นกรองแรกคือ "กรองก่อน" และประกอบด้วยกลองเหล็กที่มีโพลีเอสเตอร์ "ถุงกรอง" และมีวัตถุประสงค์ที่จะเอาตะกอนขนาดใหญ่ (15 ไมโครเมตรรูขุมขน)

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

สองอิสระ ระบบนั่น CMP ขนานแต่ละค่าตามที่ระบุในรูปที่ 2 กากของเสียที่ไหลจากเครื่องมือประสิทธิภาพในแบบแรก สะสมในสารละลาย ยกถัง เมื่อถังนี้เติมของเหลวจะถูกสูบผ่านตัวกรองชุด . ตัวกลั่นกรองแรก คือ " กรองก่อน" และประกอบด้วยเหล็กกลองที่มีถุงกรองโพลีเอสเตอร์ " " และมีเป้าหมายเพื่อกำจัดตะกอนขนาดใหญ่ ( 15 μ M รู )