As substrate biasincreases to about

As substrate bias
increases to about −150V, the internal stress, hardness and Young’s modulus increase to maximum.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เป็นความโน้มเอียงของพื้นผิวเกี่ยวกับ −150V ความเครียดภายใน ความแข็ง และโมดูลัสของยังเพิ่มสูงขึ้น

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เป็นสารตั้งต้นอคติ
เพิ่มขึ้นเกี่ยวกับ -150V ความเครียดภายในความแข็งและการเพิ่มขึ้นมอดุลัสสูงสุด