Fig. 2. Fluxes of oxygen neutrals (

Fig. 2. Fluxes of oxygen neutrals (radicals) and O2 + ions at the substrate versus distance from the center axis for the equipment simulation shown in Fig. 1.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

Fig. 2 Fluxes อักขระปกติออกซิเจน (อนุมูล) และ O2 + ประจุที่พื้นผิวเมื่อเทียบกับระยะห่างจากแกนศูนย์สำหรับการจำลองอุปกรณ์ที่แสดงใน Fig. 1

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

มะเดื่อ. 2. เว้นลักส์ของออกซิเจน (อนุมูล) และ O2 + ไอออนที่พื้นผิวเมื่อเทียบกับระยะทางจากแกนกลางสำหรับการจำลองอุปกรณ์แสดงในรูป 1

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

รูปที่ 2 ฟลักซ์ของ Neutrals ออกซิเจน ( อนุมูลอิสระ ) และออกซิเจนไอออนที่พื้นผิวเมื่อเทียบกับระยะห่างจากแกนกลาง สำหรับอุปกรณ์จำลองที่แสดงในรูปที่ 1