The effect of UV irradiation on ZnO

The effect of UV irradiation on ZnO thin film based gas sensor was investigated. Zinc oxide thin films were deposited on an alkali free glass substrate by magnetron sputtering system using zinc target. The UV irradiation of the ZnO thin films was measured to understand the change of microstructure, electrical properties, optical properties and gas sensing characteristics. The X-ray diffraction patterns and SEM images revealed that the films have a nanocrystalline structure. The optical properties of ZnO films were not affected by the UV irradiation significantly. The gas sensing behavior of zinc oxide thin films were enhanced by UV irradiation for a shorter period whereas sensing characteristics were degraded for a longer irradiation period. It was also observed that the dependence of gas sensing characteristics was correlated with the change of electrical properties and crystallinity of films.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

รับการตรวจสอบผลของการฉายรังสี UV ใน ZnO ฟิล์มบางที่ใช้ก๊าซเซนเซอร์ ฟิล์มบางซิงค์ออกไซด์ถูกฝากไว้ในตัวด่างผิวกระจกฟรี โดยระบบสปัตเตอร์ผลิตกล่องจากกระดาษโดยใช้สังกะสีเป้าหมาย ฉายรังสี UV ฟิล์มบางของ ZnO เป็นวัดเพื่อเข้าใจการเปลี่ยนแปลงของโครงสร้างจุลภาค คุณสมบัติทางไฟฟ้า คุณสมบัติแสง และลักษณะการตรวจจับก๊าซ รูปแบบการเลี้ยวเบนรังสีเอ็กซ์และ SEM ภาพเปิดเผยว่า ภาพยนตร์มีโครงสร้าง nanocrystalline คุณสมบัติแสงฟิล์ม ZnO ไม่มีผลกระทบ โดยฉายรังสี UV อย่างมีนัยสำคัญ แก๊สที่ตรวจจับพฤติกรรมของสังกะสีออกไซด์บางภาพยนตร์ถูกเพิ่ม โดยฉายรังสี UV และลดระยะขณะจับลักษณะถูกลดลงเป็นระยะเวลาฉายรังสีนานขึ้น นอกจากนี้ยังพบว่า การพึ่งพาของลักษณะการตรวจจับก๊าซคือมีความสัมพันธ์กับการเปลี่ยนแปลงของคุณสมบัติทางไฟฟ้าและผลึกของภาพยนตร์

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ผลของการฉายรังสียูวีบนแผ่นฟิล์มบาง ๆ แก๊สเซ็นเซอร์ตาม ZnO ถูกตรวจสอบ ฟิล์มบางซิงค์ออกไซด์ถูกวางลงบนพื้นผิวแก้วด่างฟรีโดยระบบสปัตเตอร์แมกใช้เป้าหมายสังกะสี รังสียูวีของฟิล์มบางซิงค์ออกไซด์วัดที่จะเข้าใจการเปลี่ยนแปลงของโครงสร้างจุลภาคสมบัติทางไฟฟ้​​า, คุณสมบัติทางแสงและลักษณะการตรวจจับก๊าซ รูปแบบการเลี้ยวเบนรังสีเอกซ์และภาพ SEM เปิดเผยว่าภาพยนตร์มีโครงสร้าง nanocrystalline คุณสมบัติทางแสงของภาพยนตร์ ZnO ไม่ได้รับผลกระทบจากการฉายรังสียูวีอย่างมีนัยสำคัญ พฤติกรรมการตรวจจับก๊าซของฟิล์มบางซิงค์ออกไซด์ที่ถูกเพิ่มขึ้นโดยการฉายรังสียูวีสำหรับระยะเวลาที่สั้นในขณะที่ลักษณะการตรวจจับถูกย่อยสลายในช่วงเวลาการฉายรังสีอีกต่อไป มันก็ยังตั้งข้อสังเกตว่าการพึ่งพาอาศัยกันของลักษณะการตรวจจับก๊าซมีความสัมพันธ์กับการเปลี่ยนแปลงของคุณสมบัติทางไฟฟ้​​าและผลึกของภาพยนตร์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ผลของการฉายรังสี UV บนฟิล์มบางซิงค์ออกไซด์ก๊าซเซนเซอร์ที่ใช้เป็นสาร ฟิล์มบางซิงค์ออกไซด์ถูกฝากไว้บนแผ่นแก้วด้วยแมกนีตรอนสปัตเตอริงด่างฟรีระบบการใช้ชิ้นงานสังกะสี รังสี UV ของซิงค์ออกไซด์แบบฟิล์มบางเป็นวัดที่จะเข้าใจการเปลี่ยนแปลงของโครงสร้างจุลภาคสมบัติไฟฟ้า , สมบัติทางแสงและแก๊สลักษณะตรวจจับ . การเลี้ยวเบนรังสีเอกซ์ พบว่ารูปแบบและ SEM ภาพฟิล์มมีโครงสร้าง nanocrystalline . สมบัติทางแสงของฟิล์ม ZnO ไม่ได้รับผลกระทบจากรังสี UV ที่สำคัญ ก๊าซตรวจจับพฤติกรรมของฟิล์มบางซิงค์ออกไซด์ถูกเพิ่มโดยการฉายรังสี UV สำหรับระยะเวลาสั้นและมีลักษณะสัมผัสช่วงเวลาระยะเวลาการฉายอีกต่อไป นอกจากนี้พบว่า การพึ่งพาก๊าซตรวจจับลักษณะมีความสัมพันธ์กับการเปลี่ยนแปลงของสมบัติไฟฟ้าและความเป็นผลึกของฟิล์ม