Capacitive comb actuators are widel

Capacitive comb actuators are widely used as MEMS motors due to their long range of linear motion, low
power consumption, and ease of fabrication. Here, we present data from a thin comb capacitive actuator where fringe fields contribute significantly to the device performance. We characterize the observed levitation effect and discuss two methods to control the out-of-plane forces: 1) by means of alternating the comb polarity; and 2) by using an additional electrode below the comb. Considering two alternative designs, it is shown how the levitation force can be mitigated. One design decreases the out-of plane motion by a factor of two, but also reduces the lateral range.An alternative design proved successful in decreasing out-of-plane motion by 75%, while enhancing the in-plane displacement of the linear comb actuator by over 35%.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

หัวขับควบคุมหวีใช้เป็นมอเตอร์ MEMS จากช่วงยาวของการเคลื่อนที่เชิงเส้น ต่ำการใช้พลังงาน และความง่ายในการประดิษฐ์ ที่นี่ เรานำเสนอข้อมูลจากการหวีบางควบคุม actuator ที่เขตข้อมูลเพิ่มเติมมีส่วนร่วมอย่างมีนัยสำคัญเพื่อประสิทธิภาพการทำงานของอุปกรณ์ เราลักษณะผล levitation สังเกต และอธิบายวิธีการสองวิธีในการควบคุมกองกำลังออกของเครื่องบิน: 1) โดยการสลับขั้วหวี และ 2) โดยใช้เป็นอิเล็กโทรดเพิ่มเติมด้านล่างซี่ พิจารณาการออกแบบทางเลือกที่สอง มันจะแสดงว่าสามารถบรรเทาแรง levitation ออกแบบหนึ่งลดออกของเครื่องบินเคลื่อนไหว โดยตัวคูณสอง แต่ยัง ช่วยลดช่วงด้านข้าง แบบอื่นได้ประสบความสำเร็จในการลดการเคลื่อนไหวออกของเครื่องบินโดย 75% ในขณะที่เพิ่มปริมาณกระบอกสูบในเครื่องบินของ actuator หวีเส้นกว่า 35%

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

กระตุ้นหวี Capacitive ใช้กันอย่างแพร่หลายมอเตอร์ MEMS
เนื่องจากการระยะยาวของการเคลื่อนไหวเชิงเส้นต่ำการใช้พลังงานและความสะดวกในการผลิต นี่เรานำเสนอข้อมูลจากหวีบางตัวกระตุ้น capacitive ที่ทุ่งนาริมมีส่วนสำคัญต่อประสิทธิภาพการทำงานของอุปกรณ์ เราลักษณะผลลอยสังเกตและหารือเกี่ยวกับสองวิธีการควบคุมกองกำลังออกจากเครื่องบิน 1) โดยใช้วิธีการสลับขั้วหวี; และ 2) โดยใช้อิเล็กโทรดเพิ่มเติมด้านล่างหวี พิจารณาทางเลือกสองแบบก็จะแสดงให้เห็นว่าแรงลอยสามารถบรรเทาได้ หนึ่งในการออกแบบที่ลดลงออกจากการเคลื่อนไหวของเครื่องบินโดยปัจจัยที่สอง แต่ยังช่วยลดการออกแบบทางเลือกที่ด้านข้าง range.An พิสูจน์แล้วว่าประสบความสำเร็จในการลดออกจากเครื่องบินเคลื่อนไหวขึ้น 75% ในขณะที่การเสริมสร้างการเคลื่อนที่ในระนาบของหวีเชิงเส้น ตัวกระตุ้นโดยกว่า 35%

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ตัวกระตุ้นแบบหวีที่ใช้กันอย่างแพร่หลาย เนื่องจากเป็น MEMS มอเตอร์ยาวช่วงของการเคลื่อนไหวเชิงเส้น ใช้พลังงานน้อย
และความสะดวกในการผลิต . ที่นี่เรานำเสนอข้อมูลจากบางหวีแบบตัวที่ขอบเขตมีส่วนร่วมอย่างมากกับประสิทธิภาพของอุปกรณ์ . เราวิเคราะห์และอภิปรายผลสังเกตลอยสองวิธีในการควบคุมของเครื่องบินบังคับ1 ) โดยใช้วิธีการสลับขั้วหวี และ 2 ) โดยการใช้เพิ่มเติมขั้วด้านล่าง หวี พิจารณาทางเลือก 2 แบบ พบว่าลอยบังคับสามารถลด . หนึ่งในการออกแบบลดออกมาเคลื่อนไหวระนาบโดยปัจจัยที่สอง แต่ยังช่วยลดช่วงด้านข้าง การออกแบบทางเลือกที่พิสูจน์แล้วว่าประสบความสําเร็จในการลดออกมาเคลื่อนไหวระนาบโดย 75% ,และเพิ่มประสิทธิภาพในการเคลื่อนที่ของตัวแบบเชิงเส้นโดยหวีมากกว่า 35%