Measurements of thin film propertie

Measurements of thin film properties are difficult when compared to bulk materials. One method for finding the modulus of elasticity of a thin film is from frequency analysis of a cantilever beam. A straight, horizontal cantilever beam under a vertical load will deform into a curve. When this force is removed, the beam will return to its original shape; however, its inertia will keep the beam in motion. Thus, the beam will vibrate at its characteristic frequencies. If a thin film is sputtered onto the beam, the flexural rigidity will be altered. This change causes the frequency of vibrations to shift. If the frequency shift is measured, the film’s elastic modulus can be calculated.
Due to the small size of thin films, conventional methods of measuring their properties often do not work. These thin film properties may differ from the bulk material properties. Therefore, alternative measurement methods must be developed. Vibration of cantilever beams is one of these methods. It is not limited to just determining the modulus of elasticity; other useful information, such as piezoelectric constants, can be determined from cantilever beams.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การวัดคุณสมบัติของฟิล์มบางได้ยากเมื่อเทียบกับวัสดุจำนวนมาก วิธีหนึ่งสำหรับการค้นหาโมดูลัสของความยืดหยุ่นของฟิล์มบางได้จากวิเคราะห์ความถี่ของลำ cantilever ลำ cantilever ตรง แนวนอนแนวตั้งโหลดจะบิดเป็นเส้นโค้ง เมื่อเอาแรงนี้ คานจะกลับสู่รูปทรงเดิม อย่างไรก็ตาม ความเฉื่อยจะทำให้คานเคลื่อนไหว ดังนั้น คานจะสั่นที่ความถี่ของลักษณะ ถ้าเป็นฟิล์มบาง ๆ ถูก sputtered ลงคาน ความแข็งแกร่งดัดจะเปลี่ยนไป การเปลี่ยนแปลงนี้ทำให้ความถี่ของการสั่นสะเทือนจะเปลี่ยน ถ้าวัดการเปลี่ยนแปลงความถี่ โมดูลัสยืดหยุ่นของฟิล์มสามารถคำนวณเนื่องจากขนาดเล็กของฟิล์มบาง วิธีการแบบเดิมในการวัดคุณสมบัติของพวกเขามักจะไม่ทำงาน คุณสมบัติของฟิล์มบางเหล่านี้อาจแตกต่างจากคุณสมบัติของวัสดุจำนวนมาก ดังนั้น ต้องพัฒนาวิธีการวัดทางเลือก การสั่นของคาน cantilever เป็นหนึ่งในวิธีการเหล่านี้ ไม่จำกัดเพียงการกำหนดค่าโมดูลัสของความยืดหยุ่น ข้อมูลที่เป็นประโยชน์อื่น ๆ เช่นค่าคงที่ชั่น สามารถกำหนดได้จาก cantilever คาน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การวัดคุณสมบัติของฟิล์มบาง ๆ เป็นเรื่องยากเมื่อเทียบกับวัสดุที่เป็นกลุ่ม วิธีการหนึ่งในการหาโมดูลัสของความยืดหยุ่นของฟิล์มบาง ๆ คือจากการวิเคราะห์ความถี่ของลำแสงเท้าแขน ตรงคานคานแนวนอนภายใต้การโหลดแนวตั้งจะทำให้เสียโฉมเข้าโค้ง เมื่อพลังนี้จะถูกลบออกลำแสงจะกลับไปที่รูปร่างเดิมของตน แต่แรงเฉื่อยของมันจะให้ลำแสงในการเคลื่อนไหว ดังนั้นคานจะสั่นที่ความถี่ลักษณะของ ถ้าฟิล์มบางถูกพ่นลงบนคานความแข็งแกร่งดัดจะได้รับการเปลี่ยนแปลง การเปลี่ยนแปลงนี้ทำให้ความถี่ของการสั่นสะเทือนที่จะเปลี่ยน ถ้าเปลี่ยนความถี่เป็นวัดของภาพยนตร์เรื่องนี้โมดูลัสยืดหยุ่นสามารถคำนวณได้
เนื่องจากขนาดที่เล็กของฟิล์มบาง, วิธีการทั่วไปของการวัดคุณสมบัติของพวกเขามักจะไม่ทำงาน คุณสมบัติเหล่านี้ฟิล์มบาง ๆ อาจแตกต่างจากคุณสมบัติของวัสดุที่เป็นกลุ่ม ดังนั้นวิธีการวัดทางเลือกที่จะต้องได้รับการพัฒนา การสั่นสะเทือนของคานคานเป็นหนึ่งในวิธีการเหล่านี้ มันไม่ได้ จำกัด เพียงแค่การกำหนดโมดูลัสยืดหยุ่น; ข้อมูลที่เป็นประโยชน์อื่น ๆ เช่นค่าคงที่ piezoelectric สามารถกำหนดจากคานคาน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การวัดคุณสมบัติของฟิล์มบางยากเมื่อเทียบกับวัสดุที่เป็นกลุ่ม วิธีการหนึ่งสำหรับการหาค่าโมดูลัสของความยืดหยุ่นของฟิล์มบาง ๆจากการวิเคราะห์ความถี่ของคานสะพาน . ตรงสะพานคานแนวนอนแนวตั้งจะเบี้ยวภายใต้การโหลดเป็นเส้นโค้ง เมื่อแรงนี้จะถูกลบออก บีมจะกลับสู่รูปร่างเดิม อย่างไรก็ตาม ตนจะให้โมเมนต์ความเฉื่อยคานในการเคลื่อนไหว ดังนั้น ลักษณะของลำแสงจะสั่นที่ความถี่ ถ้าฟิล์มจะ sputtered บนคาน ความแข็งแกร่ง การจะเปลี่ยน การเปลี่ยนแปลงนี้ทำให้ความถี่ของการสั่นสะเทือนที่จะเปลี่ยน ถ้าความถี่เปลี่ยนเป็นวัดค่าโมดูลัสยืดหยุ่นของฟิล์มสามารถคํานวณเนื่องจากขนาดที่เล็กของฟิล์มบาง , วิธีการวัดคุณสมบัติของพวกเขามักจะไม่ทำงาน เหล่านี้บางภาพยนตร์คุณสมบัติอาจแตกต่างจากกลุ่มวัสดุ คุณสมบัติ ดังนั้น การวัด วิธีการทางเลือกที่ต้องได้รับการพัฒนา การสั่นสะเทือนของคานสะพานเป็นหนึ่งในวิธีการเหล่านี้ มันไม่ได้ จำกัด อยู่เพียงการกำหนดค่าโมดูลัสของความยืดหยุ่น ข้อมูลที่เป็นประโยชน์อื่น ๆเช่น ค่าคงที่ piezoelectric สามารถหาได้จากคานสะพาน .