To balance the total etching-time a

To balance the total etching-time and the feasible accuracy of focused beam

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การแกะสลักเวลารวมและกระทำความแม่นยำของลำแสงโฟกัส

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เพื่อความสมดุลของการแกะสลักเวลารวมและความถูกต้องเป็นไปได้ของลำแสงที่มุ่งเน้น