Secondly, after the completion of t

Secondly, after the completion of the Bragg reflector, a piezoelectric layer sandwiched between two electrodes was deposited onto the Bragg reflector. Pt thin film was employed as the bottom electrode and patterned using photolithography and lift-off techniques. ZnO piezoelectric layer was deposited on the bottom electrode using a reactive rf magnetron sputtering system. Finally, the transparent film of the alloy of Ag and Ti was deposited and patterned as the top electrode of G-S-G type to fit Cascade Microtech's coplanar probes. The detailed fabrication processes of an SMR device is illustrated in Fig. 1.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ประการที่สอง หลังการรีเฟลกเตอร์แบรก ชั้นชั่นระหว่างสองขั้วไฟฟ้าฝากลงรีเฟลกเตอร์แบรก ฟิล์มบางของ Pt ถูกจ้างเป็นอิเล็กโทรดล่าง และมีลวดลายโดยใช้เทคนิคการสร้างลายวงจรด้วยแสงและยกลากจูง มีฝาก ZnO ชั่นชั้นบนขั้วล่างที่ใช้ผลิตกล่องจากกระดาษ rf ที่ปฏิกิริยาระบบสปัตเตอร์ ในที่สุด ฟิล์มใสของโลหะผสมของ Ag และ Ti ฝาก และมีลายเป็นอิเล็กโทรดชั้น G-S-G ชนิดเรียงซ้อน Microtech coplanar หัวพอดี กระบวนการผลิตรายละเอียดของอุปกรณ์ SMR เป็นดังในรูปที่ 1

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ประการที่สองหลังจากเสร็จสิ้นการสะท้อนแบร็กที่ชั้น piezoelectric คั่นกลางระหว่างสองขั้วไฟฟ้าถูกวางลงบนแบร็กสะท้อนแสง ฟิล์มบาง Pt ถูกจ้างมาเป็นขั้วไฟฟ้าล่างและลวดลายโดยใช้ photolithography และเทคนิคการยกออก ZnO ชั้น piezoelectric ถูกวางลงบนขั้วไฟฟ้าด้านล่างใช้ปฏิกิริยา RF ระบบแมกนีตรอนสปัตเตอร์ สุดท้ายฟิล์มใสของโลหะผสมของ AG และ Ti ถูกฝากและลวดลายที่เป็นขั้วไฟฟ้าด้านบนของประเภท GSG เพื่อให้พอดีกับ Cascade Microtech ของยานสำรวจในระนาบเดียวกัน รายละเอียดของกระบวนการผลิตของอุปกรณ์ SMR มีการแสดงในรูป 1

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ประการที่สอง หลังจากความสมบูรณ์ของแบร็กสะท้อนชั้น piezoelectric แซนวิชระหว่างสองขั้วไฟฟ้าถูกฝากไว้บนแบร็กกระจกสะท้อนแสง PT ใช้ขั้วไฟฟ้าฟิล์มบางด้านล่างและลวดลาย ใช้ 43 และยกออกเทคนิค ZnO piezoelectric ชั้นฝากบนล่าง ขั้วไฟฟ้า โดยใช้ปฏิกิริยาแมกนีตรอนสปัตเตอร์ RF ระบบ ในที่สุด , ฟิล์มใสของโลหะผสมของ AG และ Ti ฝากและลวดลายเป็นขั้วด้านบนของ g-s-g ชนิดเพื่อให้พอดีกับน้ำตกของไมโครเทค coplanar เครื่องมือตรวจสอบ กระบวนการผลิตของ SMR อุปกรณ์จะแสดงในรูปที่ 1