The process of plasma ashing, plasm

The process of plasma ashing, plasma stripping or micro-incineration is usually restricted to the total
removal of organic matter by an oxygen plasma, the products being carbon oxides and water vapour
which are volatile and pumped away by the vacuum system. Historically, the first application was for
the removal of photoresist in the microelectronics industry, photoresist is composed of organic
compounds, essentially consisting of carbon, hydrogen and oxygen. Exposure to an oxygen plasma
eventually removes all the photoresist as volatiles leaving no residues unless there are inorganic
contaminants in the photoresist. This shows the process can be a totally dry process and also a
means of concentrating inorganic contaminants in organic materials.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

กระบวนการของการ ashing พลาสม่า, พลาสม่าลอกหรือไมโครเผามักจะถูก จำกัด ไปยังทั้งหมดที่
กำจัดสารอินทรีย์โดยพลาสม่าออกซิเจนผลิตภัณฑ์ที่เป็นออกไซด์ของคาร์บอนและไอน้ำ
ซึ่งเป็นสารระเหยและสูบออกไปโดยระบบสูญญากาศ ประวัติศาสตร์โปรแกรมแรกสำหรับ
กำจัดสารไวแสงในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์, สารไวแสงประกอบด้วยอินทรีย์
สารประกอบหลักซึ่งประกอบด้วยคาร์บอนไฮโดรเจนและออกซิเจน การสัมผัสกับออกซิเจนพลาสมา
ในที่สุดก็ลบทั้งหมดสารไวแสงเป็นสารระเหยไม่ทิ้งสารตกค้างเว้นแต่จะมีสารปนเปื้อน
นินทรีย์ที่อยู่ในสารไวแสง นี้แสดงให้เห็นกระบวนการที่สามารถจะเป็นกระบวนการที่แห้งสนิทและยัง
วิธีการมุ่งเน้นการปนเปื้อนนินทรีย์ในวัสดุอินทรีย์

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

กระบวนการ ashing พลาสม่า พลาสม่าปอก หรือไมโครเผาถูกจำกัดโดยปกติจะรวม
เอาอินทรีย์เรื่อง โดยมีออกซิเจนพลาสมา ผลิตภัณฑ์ที่มีคาร์บอนออกไซด์ และน้ำไอ
ซึ่งเป็นสูบ ด้วยระบบสูญญากาศ และระเหย อดีต แอพลิเคชันแรกมี
เอา photoresist ในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ photoresist ประกอบอินทรีย์ด้วย
สาร หลักประกอบด้วยคาร์บอน ไฮโดรเจน และออกซิเจน สัมผัสกับพลาสม่าเป็นออกซิเจน
ในที่สุดเอา photoresist ทั้งหมดเป็น volatiles ออกตกไม่เว้นแต่มีอนินทรีย์
สารปนเปื้อนใน photoresist ซึ่งแสดงให้เห็นกระบวนการจะแห้งทั้งหมด และยังเป็น
วิธีลสารปนเปื้อนอนินทรีย์วัสดุอินทรีย์

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

กระบวนการของพลาสม่า ashing จอพลาสม่าตัดหรือไมโคร - เผาเป็นเถ้าถูกจำกัดให้ใช้ได้ในจำนวน
ซึ่งจะช่วยขจัดของเรื่องเกษตรอินทรีย์โดยพลาสม่าออกซิเจนที่สินค้าที่เป็นแบบ Vapor ช่วยๆกันน้ำและผงถ่านกัมมันต์
ซึ่งมีความผันผวนและสูบน้ำออกไปจากระบบดูดฝุ่นที่โดยปกติ แอปพลิเคชันครั้งแรกในประวัติศาสตร์ที่มีต่อการถอด
ของ photoresist ในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ที่ photoresist ประกอบไปด้วยของอินทรีย์
สารประกอบของไฮโดรเจนโดยสาระแล้วประกอบด้วยคาร์บอนและออกซิเจน ความเสี่ยงต่อการถูกจอพลาสม่าออกซิเจนที่ในท้ายที่สุด
ซึ่งจะช่วยขจัด photoresist ทั้งหมดที่ volatiles ออกจากไม่มีสารตกค้างเว้นแต่ว่าจะมีสิ่งปนเปื้อนในเลเยอร์สังเคราะห์
photoresist ได้ โรงแรมแห่งนี้จะแสดงขั้นตอนที่สามารถเป็นกระบวนการแห้งทั้งหมดและยังหมายถึง
ซึ่งจะช่วยในเรื่องสิ่งปนเปื้อนเลเยอร์สังเคราะห์ในเอกสารประกอบรัฐธรรมนูญ