Various materials were studied to e

Various materials were studied to eliminatecracking of the thin film step edge structure during the fabricationof AlN sensors, as schematically shown in Fig. 1

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

วัสดุต่าง ๆ ได้ศึกษากับ eliminatecracking ของโครงสร้างฟิล์มบางขั้นตอนขอบระหว่างเซนเซอร์ AlN, fabricationof แสดงเป็น schematically ใน Fig. 1

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

วัสดุต่างๆที่จะได้รับการศึกษา eliminatecracking ของขั้นตอนที่ฟิล์มบางโครงสร้างขอบในช่วงเซ็นเซอร์ fabricationof ALN ดังแสดงในรูปแผนผัง 1

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

วัสดุต่าง ๆเพื่อให้ eliminatecracking ของโครงสร้างบางขั้นตอนฟิล์มขอบระหว่าง fabricationof ALN เซ็นเซอร์ เป็นแผนผังที่แสดงในรูปที่ 1