In this study, our objective is to

In this study, our objective is to develop a mathematical model for ALD of alumina process, bridging detailed surface reaction kinetics on the substrate surface with the macro-scale transport processes in the ALD reactor. Meanwhile, an ALD experiment of TMA +H2O cycling operation is carried out as the physical base for the modeling work. The mathematic model is firstly validated by the numerical data, and then further utilized to investigate various ALD operating conditions.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ในการศึกษานี้ วัตถุประสงค์ของเราคือการ พัฒนาแบบจำลองทางคณิตศาสตร์สำหรับ ALD อลูมินาการ กาลจลนพลศาสตร์ปฏิกิริยาผิวรายละเอียดบนพื้นผิวพื้นผิวด้วยกระบวนการขนส่งมาตราส่วนแมโครในเครื่องปฏิกรณ์ ALD ในขณะเดียวกัน ALD การทดลองของ TMA + H2O ดำเนินการขี่จักรยานจะดำเนินเป็นพื้นฐานทางกายภาพสำหรับงานโมเดล แบบจำลองคณิตศาสตร์ firstly ตรวจสอบข้อมูลตัวเลข และจากนั้น เพิ่มเติมสาธารณูปโภค ALD ต่าง ๆ เงื่อนไขการปฏิบัติงานตรวจสอบได้

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในการศึกษานี้มีวัตถุประสงค์ของเราคือการพัฒนาแบบจำลองทางคณิตศาสตร์สำหรับ ALD ของกระบวนการอลูมิแก้รายละเอียดจลนศาสตร์ปฏิกิริยาบนพื้นผิวพื้นผิวที่มีระดับมหภาคกระบวนการขนส่งในเครื่องปฏิกรณ์มรกต ในขณะที่การทดลองมรกตของการดำเนินการขี่จักรยาน TMA + H2O จะดำเนินการเป็นฐานทางกายภาพสำหรับการทำงานการสร้างแบบจำลอง แบบจำลองทางคณิตศาสตร์ที่มีการตรวจสอบ Fi rstly โดยข้อมูลตัวเลขและจากนั้นใช้เพิ่มเติมในการตรวจสอบสภาพการทำงานต่างๆมรกต

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ในการศึกษานี้ วัตถุประสงค์ของเราคือการ พัฒนาแบบจำลองทางคณิตศาสตร์สำหรับ ald กระบวนการอะแก้รายละเอียดพื้นผิวปฏิกิริยาจลนพลศาสตร์บนพื้นผิวพื้นผิวด้วยมาโครแบบการขนส่งกระบวนการใน ald เครื่องปฏิกรณ์ ในขณะเดียวกัน , ald ทดลอง TMA H2O จักรยานผ่าตัดเป็นไปตามฐานทางกายภาพสำหรับการทำงานแบบจำลองทางคณิตศาสตร์จึงเป็น rstly ตรวจสอบโดยข้อมูลตัวเลข แล้วต่อไปที่ใช้ศึกษาต่างๆ ald สภาพการใช้งาน