In general, there are two types of

In general, there are two types of AMHS in the wafer
fab. The first is the interbay system, which is transporting cassettes or boxes of wafers between process bays. The
other is the intrabay system, which is transporting
cassettes or boxes of wafers within one process bay, also
called tool-to-tool AMHS. Interbay systems are typically
monorail-type movement systems, where vehicles
move material monorailand interface with AS/RS
machines (stockers) in bay areas where materials are
processed. Intrabay automation has been shown to
increase process equipment utilization and reduce the
labor requirement. Five types of intrabay systems
automation vehicles are being developed by material
handling equipment suppliers: rail robots, rail guided
vehicles, automated guided vehicles (AGV); personnel
guided vehicles, and overhead transport vehicles. The
analysis of an intrabay system can be found in
Cardarelli et al.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ทั่วไป มีสองประเภทของ AMHS ในแผ่นเวเฟอร์fab ครั้งแรกเป็นระบบ interbay ซึ่งเป็นผู้ขนส่งแบบหรือกล่องรับระหว่างกระบวนการอ่าว ที่อื่น ๆ คือระบบ intrabay ซึ่งเป็นผู้ขนส่งฝ้าหรือกล่องรับภายในหนึ่งอ่าว ยังเรียกว่าเครื่องมือเครื่องมือ AMHS มีระบบ interbay โดยทั่วไประบบโมโนเรลชนิดเคลื่อนไหว ซึ่งยานพาหนะย้ายวัสดุ monorailand อินเทอร์เฟซกับ AS / RSเครื่องจักร (stockers) ในพื้นที่อ่าวที่อยู่การประมวลผล มีการแสดงอัตโนมัติ Intrabayเพิ่มกระบวนการใช้อุปกรณ์ และลดการความต้องการแรงงาน ห้าชนิดของระบบ intrabayการพัฒนายานพาหนะอัตโนมัติ ด้วยวัสดุการจัดการผู้จำหน่ายอุปกรณ์: หุ่นยนต์ ทางรถไฟรถไฟแนะนำยานพาหนะ (AGV); แนะนำรถยนต์ อัตโนมัติ บุคลากรตัวรถ และยานพาหนะขนส่งที่จ่าย ที่การวิเคราะห์ระบบ intrabay สามารถพบได้ในCardarelli et al

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

โดยทั่วไปมีสองประเภทของ amhs ในเวเฟอร์
fab อย่างแรกคือระบบ interbay ซึ่งการขนส่งตลับหรือกล่องของอ่าวเวเฟอร์ระหว่างกระบวนการ
อื่น ๆ คือ ระบบ intrabay ซึ่งเป็นขน
ตลับหรือกล่องของเวเฟอร์ภายในกระบวนการหนึ่ง อ่าวยัง
เรียกว่าเครื่องมือ amhs เครื่องมือ interbay ระบบมักจะ
ระบบการเคลื่อนไหวชนิดโมโนเรลที่ยานพาหนะ
ย้ายวัสดุที่มีอินเตอร์เฟซ monorailand / RS
เครื่อง ( stockers ) ในพื้นที่อ่าวที่เป็นวัสดุ
ประมวลผล intrabay อัตโนมัติได้รับการแสดงเพื่อเพิ่มการใช้อุปกรณ์ในกระบวนการ

แรงงานและลดความต้องการ ห้าประเภทของยานพาหนะอัตโนมัติระบบ
intrabay ถูกพัฒนาโดยผู้ผลิตอุปกรณ์ขนถ่ายวัสดุ
: หุ่นยนต์ รถไฟ , รถไฟแนะนำ
ยานพาหนะพาหนะอัตโนมัติ ( AGV ) ; บุคลากร
พาหนะยานพาหนะการขนส่งและค่าใช้จ่าย
การวิเคราะห์ระบบ intrabay สามารถพบได้ใน
cardarelli et al .