whereas at the increasein the press

whereas at the increase
in the pressure up to 13 Pa the ion energy flux
remains only half of the total VUV energy flux
(ion energy flux 2mWcm
2 and VUV photon
energy flux 5mWcm
2) for 10W RF power

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ในขณะที่เพิ่มขึ้นในความดันถึง 13 ป่าไหลพลังงานไอออนเหลือเพียงครึ่งหนึ่งของพลังงานไหลรวมของ VUV(ไอออนพลังงานไหล 2mWcm 2 และโฟตอน VUVพลังงานไหล 5mWcm 2) สำหรับพลังงาน RF 10W

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ในขณะที่การเพิ่มขึ้นของความดันได้ถึง 13 Pa ฟลักซ์พลังงานไอออนที่ยังคงอยู่เพียงครึ่งหนึ่งของการไหลของพลังงานVUV รวม(ไอออนฟลักซ์พลังงาน? 2mWcm 2 และ VUV โฟตอนฟลักซ์พลังงาน? 5mWcm? 2) สำหรับ 10W พลังงาน RF

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

ส่วนที่เพิ่ม
ในความดันถึง 13 PA อิออนฟลักซ์พลังงาน

เหลือเพียงครึ่งหนึ่งของฟลักซ์พลังงาน VUV ( ฟลักซ์พลังงานไอออน  2mwcm
2 และ VUV ฟลักซ์พลังงานโฟตอน
 5mwcm
2 ) 10W พลังงาน RF สำหรับ