One of the foremost challenges of p

One of the foremost challenges of position sensing is to achieve high resolution and accuracy over a large range. For example, semiconductor wafer stages require a repeatability and resolution in the nanometers while operating over a range in the tens of centimeters [13,14]. Such applications typically use interferometers or high resolution optical encoders which can provide the required performance but can impose a significant cost. Long range sensors are also becoming necessary in standard nanopositioning applications due to the development of dual-stage actuators [77–80] and
stepping mechanisms [81,82]. Capacitive sensors can be adapted for this purpose by using a periodic array of electrodes [55]. Such techniques can also be applied to magnetic or inductive sensing principles. Due to the increasing availability of long range nanopositioning mechanisms, an increased focus on the development of cost effective long range sensors is required.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

หนึ่งในความท้าทายที่สำคัญที่สุดของการตรวจวัดตำแหน่งคือเพื่อให้บรรลุความละเอียดสูงและความถูกต้องในช่วงที่มีขนาดใหญ่ ตัวอย่างเช่นขั้นตอนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องมีการทำซ้ำและความละเอียดในนาโนเมตรในขณะที่การดำเนินงานในช่วงหลายสิบเซนติเมตร [13,14]โปรแกรมดังกล่าวมักจะใช้ interferometers หรือเข้ารหัสความละเอียดสูงออปติคอลที่สามารถให้ประสิทธิภาพการทำงานที่จำเป็น แต่สามารถกำหนดค่าใช้จ่ายอย่างมีนัยสำคัญ เซ็นเซอร์ระยะยาวยังเป็นที่จำเป็นในการใช้งาน nanopositioning มาตรฐานเนื่องจากการพัฒนาของตัวกระตุ้นแบบ dual-เวที [77-80] และกลไกการก้าว
[81,82]เซ็นเซอร์ capacitive สามารถดัดแปลงเพื่อวัตถุประสงค์นี้โดยใช้อาร์เรย์ระยะของอิเล็กโทรด [55] เทคนิคดังกล่าวยังสามารถนำไปใช้กับแม่เหล็กหรืออุปนัยหลักการตรวจวัด เนื่องจากการให้บริการที่เพิ่มขึ้นของกลไกระยะยาว nanopositioning, โฟกัสที่เพิ่มขึ้นเกี่ยวกับการพัฒนาของค่าใช้จ่ายที่มีประสิทธิภาพเซ็นเซอร์ในระยะยาวเป็นสิ่งจำเป็น

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

หนึ่งในความท้าทายสำคัญของการตรวจตำแหน่งจะให้ความละเอียดสูงและความแม่นยำช่วงใหญ่ ตัวอย่าง สารกึ่งตัวนำแผ่นเวเฟอร์ขั้นต้องทำซ้ำในและความละเอียดในการ nanometers ขณะปฏิบัติช่วงในสิบเซนติเมตร [13,14] โปรแกรมประยุกต์ดังกล่าวมักจะใช้ interferometers หรือตัวเข้าความละเอียดสูงแสงรหัสซึ่งสามารถให้ประสิทธิภาพการทำงานต้อง แต่สามารถกำหนดต้นทุนอย่างมีนัยสำคัญ เซนเซอร์ระยะยาวยังกลายเป็นความจำเป็นในการใช้งาน nanopositioning มาตรฐานเนื่องจากการพัฒนาของขั้นคู่หัวขับ [77–80] และ
กลไกสเต็ป [81,82] เซนเซอร์ควบคุมสามารถดัดแปลงเพื่อวัตถุประสงค์นี้ โดยใช้อาร์เรย์เป็นครั้งคราวของหุงต [55] นอกจากนี้ยังสามารถประยุกต์ใช้เทคนิคเช่นแม่เหล็ก หรือเหนี่ยวหลัก sensing เนื่องจากการเพิ่มความยาวช่วง nanopositioning กลไก เน้นการเพิ่มการพัฒนาของเซนเซอร์มีประสิทธิภาพต้นทุนความจำเป็น

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เป็นหนึ่งในความท้าทายที่สำคัญที่สุดของการตรวจจับช่องเสียบตำแหน่งการมีความถูกต้องแม่นยำและความละเอียดสูงกว่ากลุ่มขนาดใหญ่ที่ ตัวอย่างเช่นช่วง)—เวเฟอร์สารกึ่งตัวนำจำเป็นต้องใช้ความละเอียดและมีความแม่นยำในนาโนเมตรขณะใช้งานมากกว่าช่วงที่อยู่ในหลักสิบของตารางเซนติเมตร 13,14 []แอปพลิเคชันดังกล่าวโดยปกติแล้วจะใช้ interferometers หรือเครื่องเข้ารหัสแบบออปติกความละเอียดสูงซึ่งสามารถให้ ประสิทธิภาพ ที่จำเป็นแต่สามารถกำหนดค่าใช้จ่ายที่ เซนเซอร์ตรวจจับระยะยาวจะเป็นสิ่งจำเป็นในการประยุกต์ใช้งาน nanopositioning มาตรฐานเนื่องจากการพัฒนาของ Dual - เวที actuators [ 77-80 ]และการทำงานของกลไก
Stepping [ 81,82 ]ยังเซนเซอร์ระบบสัมผัสคาปาซิทีฟสามารถปรับให้เหมาะสำหรับการใช้งานนี้ได้โดยการใช้ความหลากหลายของเชื่อมที่เป็นระยะๆ[ 55 ] เทคนิคดังกล่าวสามารถนำไปใช้กับหลักการของสนามแม่เหล็กหรือเหนี่ยวนำสนามแม่เหล็กไฟฟ้านอกจากนั้นยังพร้อมด้วยการตรวจจับช่องเสียบ เนื่องจากมีการใช้งานที่เพิ่มมากขึ้นของระยะยาว nanopositioning กลไกให้ความสำคัญเพิ่มขึ้นในการพัฒนาของเซ็นเซอร์ระยะยาวมี ประสิทธิภาพ ในด้านราคาเป็นที่ต้องการ