It should be pointed out that the low-pressure mercury lamp that emitted the UV-light in company with the generation of ozone (O3) was much more effective for the UV-lithography than the low-pressure mercury lamp that did not generate ozone
มันควรจะชี้ให้เห็นว่า หลอดปรอทแรงดันต่ำที่จากแสงยูวี in company with การสร้างโอโซน (O3) ที่มีประสิทธิภาพมากสำหรับการทำลวดลายวงจร UV กว่าหลอดปรอทแรงดันต่ำที่ไม่ได้สร้างโอโซน