This paper introduced a capacitivem

This paper introduced a capacitive
micromachined ultrasound transducer based on Si-Si
bonding technology. The resonance frequency and the vibration mode were determined by theoretical
analysis and simulation, and the device was
fabricated by MEMS technology. The topography
measurement result from SEM shows that the cavity
has a high etching accuracy and the membrane thickness is of great uniformity. Besides, the
machining technology is simple and short in cycle,
which allows volume production. The frequency test
implemented by Polytec MSA-400 shows that the
resonance frequency is 932.8 kHz, which can meet
all the requirements. The designed CMUT will surely
have broad prospects in the application of longdistance
ultrasound imaging and testing.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เอกสารนี้แนะนำการควบคุมmicromachined ซาวด์พิกัดตามซีซียึดเทคโนโลยี ความถี่สั่นพ้องและโหมดการสั่นสะเทือนได้ตามทฤษฎีวิเคราะห์ และจำลอง และอุปกรณ์หลังสร้าง โดยเทคโนโลยี MEMS ภูมิประเทศประเมินผลจาก SEM แสดงที่ช่องมีความถูกต้องแม่นยำสูงกัด และมีความหนาเยื่อใจดี สำรอง การเทคโนโลยีการตัดเฉือนจะง่าย และสั้นในรอบซึ่งปริมาณการสั่งผลิตได้ การทดสอบความถี่ดำเนินการ โดยแสดง Polytec MSA-400 ที่จะความถี่สั่นพ้องเป็น kHz 932.8 ซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการทั้งหมด CMUT ออกแบบย่อมจะมีแนวโน้มที่กว้างในแอพลิเคชันของ longdistanceภาพอัลตร้าซาวด์และการทดสอบ

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

บทความนี้นำ capacitive
แปลงสัญญาณอัลตราซาวนด์ micromachined ขึ้นอยู่กับ Si-Si
เทคโนโลยีพันธะ เสียงสะท้อนความถี่และโหมดการสั่นสะเทือนได้รับการพิจารณาโดยทฤษฎี
การวิเคราะห์และการจำลองและอุปกรณ์ที่ถูก
ประดิษฐ์โดยเทคโนโลยี MEMS ภูมิประเทศ
ผลการวัดจาก SEM แสดงให้เห็นว่าช่อง
มีความถูกต้องแกะสลักสูงและความหนาของเยื่อหุ้มเซลล์มีความสม่ำเสมอดี นอกจากนี้
เทคโนโลยีเครื่องจักรกลที่ง่ายและสั้น ๆ ในวงจร
ซึ่งจะช่วยให้ปริมาณการผลิต การทดสอบความถี่
ดำเนินการโดย Polytec MSA-400 แสดงให้เห็นว่า
เป็นเสียงสะท้อนความถี่ 932.8 กิโลเฮิร์ทซึ่งสามารถตอบสนอง
ทุกความต้องการ CMUT ออกแบบก็จะ
มีเป้าหมายในวงกว้างในการประยุกต์ใช้ longdistance
การถ่ายภาพอัลตราซาวนด์และการทดสอบ

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

กระดาษนี้จะแนะนำแบบ
micromachined อัลตราซาวน์เซอร์ตามศรีศรี
เชื่อมเทคโนโลยี เสียงสะท้อนความถี่และโหมดการสั่นสะเทือนวิเคราะห์โดยการวิเคราะห์เชิงทฤษฎี
และการจำลองและอุปกรณ์
ประดิษฐ์โดยเทคโนโลยี MEMS . ภูมิประเทศ
การวัดผลจาก SEM พบว่าโพรง
มีความถูกต้องสูงและการกัดเยื่อหนาคือของยิ่งใหญ่เสมอ . นอกจากนี้ เทคโนโลยีชิ้นที่ง่ายและสั้น

ในรอบ ซึ่งจะช่วยให้ปริมาณการผลิต ความถี่ทดสอบ
โดย polytec msa-400 แสดงว่า
เรโซแนนซ์ความถี่ 932.8 kHz ซึ่งสามารถตอบสนอง
ทุกความต้องการ ออกแบบ cmut ย่อม
ได้คร่าว ๆ โอกาสในการ longdistance
ภาพอัลตราซาวนด์ และการทดสอบ