Various enhancement structureswere

Various enhancement structures
were fabricated using surface micromachining in silicon

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

โครงสร้างปรับปรุงต่าง ๆมีหลังสร้างโดยใช้พื้นผิว micromachining ในซิลิคอน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การเพิ่มประสิทธิภาพของโครงสร้างต่างๆ
ที่ถูกประดิษฐ์โดยใช้ไมโครพื้นผิวในซิลิกอน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

โครงสร้างต่างๆที่เสริม
ถูกประดิษฐ์โดยใช้ micromachining พื้นผิวในซิลิคอน