The experimental ALD process is car

The experimental ALD process is carried out using the Cambridge NanoTech Savannah S100 system. As shown in Fig. 1, the reactor chamber is customized for up to 100 mm substrates with nearly 150 mm inner diameter and 6 mm in depth. The inert gas, nitrogen, is applied as the precursor carrier and purging gas during the ALD process. The TMA and water vapor are used as the metal-source precursor and oxygen-source precursor respec- tively in this study. The operating temperature of the reactor is maintained at 200 C, while that of the inlet and outlet gas tubes are maintained at 70C and 160C respectively. An Edwards RV5 rotary vane pump is connected to the end of the outlet pipeline to vacuum the reactor before ALD processing, and pump out exces- sive precursor gases during the ALD process.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การทดลอง ALD จะดำเนินการใช้ระบบ S100 สวันนาห์ NanoTech เคมบริดจ์ แสดงใน Fig. 1 หอเครื่องปฏิกรณ์เป็นแบบกำหนดเองสำหรับพื้นผิวมม.ถึง 100 มีเกือบ 150 มม.ภายในเส้นผ่าศูนย์กลาง 6 มม.ลึก มีใช้ก๊าซเฉื่อย ไนโตรเจน เป็นบริษัทขนส่งสารตั้งต้นและล้างก๊าซระหว่าง ALD TMA และไอน้ำที่ใช้เป็นสารตั้งต้นแหล่งโลหะและออกซิเจนแหล่งสารตั้งต้น respec-tively ในการศึกษานี้ อุณหภูมิทำงานของระบบไว้ที่ 200 C ขณะที่ทางเข้าของ และท่อจำหน่ายก๊าซจะยังคงอยู่ที่ 70C และ 160C ตามลำดับ การปั๊มโรตารี่ vane RV5 เอ็ดเวิร์ดเชื่อมต่อของไปป์ไลน์ร้านเพื่อดูดปล่อยก่อน ALD ประมวลผล และปั๊มออกก๊าซสารตั้งต้น exces sive ระหว่าง ALD

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

กระบวนการ ALD ทดลองจะดำเนินการโดยใช้ระบบเคมบริดจ์ NanoTech วานนาห์ S100 ดังแสดงในรูป 1 ห้องปฏิกรณ์ที่กำหนดเองได้ถึง 100 มิลลิเมตรพื้นผิวที่มีเกือบ 150 มิลลิเมตรเส้นผ่าศูนย์กลางภายในและ 6 มมในเชิงลึก เฉื่อยก๊าซไนโตรเจนจะถูกใช้เป็นสารตั้งต้นให้บริการและก๊าซกวาดล้างในระหว่างกระบวนการมรกต TMA และไอน้ำจะถูกใช้เป็นสารตั้งต้นโลหะแหล่งที่มาและแหล่งที่มาของออกซิเจนสารตั้งต้นตามลำดับในการศึกษานี้ อุณหภูมิของเครื่องปฏิกรณ์จะคงที่ 200 องศา C ในขณะที่ทางเข้าและทางออกของท่อก๊าซจะถูกเก็บรักษาไว้ที่ 70C และ 160C ตามลำดับ ปั๊มใบพัดเอ็ดเวิร์ด RV5 หมุนเชื่อมต่อกับปลายท่อระบายสูญญากาศเครื่องปฏิกรณ์ก่อนที่จะประมวลผล ALD และสูบน้ำออก exces- ก๊าซสารตั้งต้นที่บ่งบอกในระหว่างกระบวนการมรกต

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

กระบวนการ ald ทดลองโดยใช้เคมบริดจ์สะ s100 ด้านระบบ ดังแสดงในรูปที่ 1 เครื่องปฏิกรณ์หอเองถึง 100 มม. พื้นผิวที่มีเกือบ 150 มม. ขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 6 มม. ความลึก ใช้ก๊าซเฉื่อยไนโตรเจนที่ใช้เป็นสารตั้งต้นและผู้ให้บริการการกำจัดก๊าซในระหว่างกระบวนการ ald .ก็มีการใช้ไอน้ำเป็นแหล่งโลหะสารตั้งต้นและออกซิเจนแหล่งสารตั้งต้น respec - มีในการศึกษานี้ อุณหภูมิของเครื่องปฏิกรณ์จะยังคงที่ 200 องศาเซลเซียส ขณะที่ปากน้ำและท่อก๊าซเต้าเสียบจะยังคงที่ และ 160c 70c ตามลำดับการสร้าง rv5 โรตารี่เวนปั๊มเชื่อมต่อกับปลายเต้าเสียบท่อสูญญากาศเครื่องปฏิกรณ์ก่อนการประมวลผล ald และสูบออก exces - sive สารตั้งต้นก๊าซในระหว่างกระบวนการ ald .