The design and construction of a Ra

The design and construction of a Radiative heater, for use in sputtering system is presented. An aluminum paraboloid mirror and a halogen lamp are used to heat the substrate, radiative heating presents as main advantage over other commercial options, low power consumption (about 90w for 300C), their relative easy to build and the ability to maintain a stable deposition temperature. The radiative heater, operating in the temperature range of 150 to 300C, and pressures between 3 and 15 mTorr, shows a minimal variation of temperature and its current consumption is less than 1.0A. The main limitation is that the heater is used with an open–loop control, which does not allow the possibility of controlling temperatures below 140C and stabilize the temperature in less than 40 min. Characterization of two halogen lamps of 300W and 150W, with which it is possible to obtain different temperature ranges is shown.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

แสดงการออกแบบและก่อสร้างเป็นฮีตเตอร์ Radiative สำหรับใช้ในระบบการพ่น ใช้ให้ความร้อนพื้นผิวเป็นอลูมิเนียม paraboloid กระจกและโคมไฟฮาโลเจน ร้อน radiative แสดงเป็นหลักได้เปรียบอื่น ๆ เชิงพาณิชย์ พลังงาน (เกี่ยวกับ 90w สำหรับ 300C), ญาติของพวกเขาง่ายต่อการสร้างและความสามารถในการรักษาอุณหภูมิสะสมที่มั่นคง ฮีตเตอร์ radiative ทำงานในช่วงอุณหภูมิ 150 300C และความดันระหว่าง 3 และ 15 mTorr แสดงการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียงเล็กน้อย และการบริโภคในปัจจุบันคือ น้อยกว่า 1.0 a ข้อจำกัดหลักคือ ฮีตเตอร์ที่ใช้กับตัวควบคุมเปิด – วง ซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมอุณหภูมิต่ำกว่า 140C และอุณหภูมิในน้อยกว่า 40 นาทีคุณสมบัติของโคมไฟฮาโลเจน 2 ของ 300W อยู่ดี และแสดง 150W ซึ่งจะสามารถรับช่วงอุณหภูมิที่แตกต่างกัน

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การออกแบบและการก่อสร้างของเครื่องทำความร้อน Radiative สำหรับการใช้งานในระบบของสปัตเตอร์จะน​​ำเสนอ กระจกอลูมิเนียม paraboloid และหลอดฮาโลเจนที่ใช้ในการให้ความร้อนพื้นผิวความร้อนรังสีนำเสนอเป็นประโยชน์หลักกว่าตัวเลือกเชิงพาณิชย์อื่น ๆ , การใช้พลังงานต่ำ (ประมาณ 90W สำหรับ 300C) ง่ายของพวกเขาเมื่อเทียบกับการสร้างและความสามารถในการรักษาอุณหภูมิให้การของพยานที่มีเสถียรภาพ . เครื่องทำความร้อนรังสีการดำเนินงานในช่วงอุณหภูมิ 150 ถึง 300C และแรงกดดันระหว่าง 3 และ 15 mTorr แสดงให้เห็นถึงการเปลี่ยนแปลงที่น้อยที่สุดของอุณหภูมิและการบริโภคในปัจจุบันน้อยกว่า 1.0A ข้อ จำกัด ที่สำคัญคือฮีตเตอร์ที่ใช้กับการควบคุมวงเปิดซึ่งไม่อนุญาตให้มีความเป็นไปได้ในการควบคุมอุณหภูมิต่ำกว่า 140C และรักษาเสถียรภาพอุณหภูมิในเวลาน้อยกว่า 40 นาที ลักษณะของทั้งสองของหลอดฮาโลเจน 300W และ 150W ด้วยซึ่งก็เป็นไปได้ที่จะได้รับช่วงอุณหภูมิที่แตกต่างกันจะแสดง

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การออกแบบและสร้างเครื่องทำน้ำอุ่นของเหลว ใช้ในระบบสปัตเตอริงคือแสดง อลูมิเนียมกระจกและหลอดไฟฮาโลเจนพาราโบลอยด์ใช้ความร้อนพื้นผิวความร้อนของเหลวที่แสดงเป็นประโยชน์หลักมากกว่าตัวเลือกการค้าอื่น ๆ , การใช้พลังงานต่ำ ( ประมาณ 90w สำหรับ 300 C ) ของญาติที่ง่ายต่อการสร้างและสะสมความสามารถในการรักษาอุณหภูมิคงที่เครื่องทำน้ำอุ่นของเหลวที่ปฏิบัติการในช่วงอุณหภูมิ 150 ถึง 300 C และความดันระหว่าง 3 และ 15 mtorr แสดงการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิที่น้อยที่สุดและการบริโภคในปัจจุบันน้อยกว่าโหลด . ปัญหาหลักคือ เครื่องที่ใช้กับการเปิดและลูปควบคุมซึ่งไม่อนุญาตให้ความเป็นไปได้ของการควบคุมอุณหภูมิต่ำกว่าอุณหภูมิ 140c และความมั่นคงในน้อยกว่า 40 นาที คุณสมบัติของหลอดฮาโลเจนและสองของ 300W ก็มาร์ค ซึ่งก็เป็นไปได้ที่จะได้รับช่วงอุณหภูมิที่แตกต่างกันจะถูกแสดง