Due to the lack of cost effective s

Due to the lack of cost effective sensors that provide both high-resolution and wide bandwidth, recent research has also considered the collaborative use of multiple sensors. For example, in reference [40] a piezoelectric strain sensor and capacitive sensor were combined. The feedback loop utilized the capacitive sensor at low frequencies and the piezoelectric sensor at high frequencies.This approach retains the low-frequency accuracy of the capacitive sensor and the wide bandwidth of the piezo sensor while avoiding the drift from the piezo sensor and wide-band noise from the capacitive sensor. The closed-loop noise was reduced from 5 nm with the capacitive sensor to 0.34 nm with both sensors. Piezoelectric force sensors have also been used for high-frequency damping control while a capacitive, inductive or strain is used for tracking control

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เนื่องจากการขาดการเซ็นเซอร์ที่มีประสิทธิภาพค่าใช้จ่ายที่ให้แบนด์วิธทั้งความละเอียดสูงและกว้างการวิจัยที่ผ่านมาได้ถือว่ายังใช้การทำงานร่วมกันของเซ็นเซอร์หลาย ตัวอย่างเช่นใน [40] อ้างอิงเซ็นเซอร์ piezoelectric ความเครียดและเซ็นเซอร์ capacitive กำลังทำงานร่วมกัน ห่วงความคิดเห็นที่ใช้เซ็นเซอร์ capacitive ที่มีความถี่ต่ำและเซ็นเซอร์ piezoelectric ที่มีความถี่สูงวิธีการนี​​้ยังคงมีความถูกต้องความถี่ต่ำของเซ็นเซอร์ capacitive และแบนด์วิดธ์กว้างของเซ็นเซอร์ไพอีโซขณะที่หลีกเลี่ยงลอยจากเซ็นเซอร์ไพอีโซและเสียงวงกว้างจากเซ็นเซอร์ capacitive เสียงวงปิดลดลงจาก 5 นาโนเมตรกับเซ็นเซอร์ capacitive ถึง 0.34 นาโนเมตรที่มีเซ็นเซอร์ทั้งสองเซ็นเซอร์แรง piezoelectric ยังได้รับการใช้สำหรับการควบคุมการทำให้หมาด ๆ ความถี่สูงในขณะที่สายพันธุ์ capacitive, อุปนัยหรือถูกนำมาใช้สำหรับการควบคุมการติดตาม

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เนื่องจากมีเซนเซอร์แพงที่ให้แบนด์วิดท์กว้าง และมีความละเอียดสูง การวิจัยล่าสุดยังได้พิจารณาเซ็นเซอร์หลายใช้ร่วมกัน ตัวอย่าง ในอ้างอิง [40] รวมต้องใช้ piezoelectric เซ็นเซอร์และเซ็นเซอร์ควบคุม วนผลป้อนกลับใช้เซ็นเซอร์ควบคุมความถี่ต่ำและการเซ็นเซอร์ piezoelectric ที่ความถี่สูงวิธีนี้รักษาความถูกต้องความถี่ต่ำของเซนเซอร์ควบคุมและแบนด์วิดท์ที่กว้างของการเซ็นเซอร์ piezo เลี่ยงดริฟท์จากเซ็นเซอร์ piezo และวงดนตรีทั้งเสียงจากเซ็นเซอร์ควบคุม ปิดเสียงถูกลดลงจาก 5 nm มีเซ็นเซอร์ควบคุมการ 0.34 nm มีเซ็นเซอร์ทั้งสอง Piezoelectric กองเซ็นเซอร์ยังใช้สำหรับความถี่สูง damping ควบคุมควบคุม เหนี่ยว หรือต้องใช้จะใช้ในการติดตามควบคุม

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เนื่องจากการขาดของเซ็นเซอร์มี ประสิทธิภาพ ในด้านราคาทั้งที่มีแบนด์วิธความละเอียดสูงและกว้างการวิจัยในปัจจุบันมีการพิจารณาให้ใช้การทำงานร่วมกันของเซ็นเซอร์หลายตัวยัง ตัวอย่างเช่นในการอ้างอิง[ 40 ]เซนเซอร์ความเมื่อยล้าฮอร์นพีโซและเซนเซอร์ระบบสัมผัสคาปาซิทีฟรวม การต่อพ่วงความคิดเห็นที่ใช้เซนเซอร์ระบบสัมผัสคาปาซิทีฟที่ความถี่ต่ำและเซนเซอร์ฮอร์นพีโซที่ความถี่สูงวิธีนี้ยังคงรักษาไว้ซึ่งความถูกต้องความถี่ต่ำออกมาให้สูงของเซนเซอร์ระบบสัมผัสคาปาซิทีฟและแบนด์วิดธ์ที่กว้างของเซนเซอร์ตรวจวัดพีโซในขณะที่การหลีกเลี่ยงการไหลออกจากสัญญาณรบกวนแบบ wide - band และเซ็นเซอร์พีโซจากเซนเซอร์ระบบสัมผัสคาปาซิทีฟที่ ปิดเสียงรบกวน - loop ที่ลดลงจาก 5 นาโนเมตรพร้อมด้วยเซนเซอร์ระบบสัมผัสคาปาซิทีฟที่ 0.34 เมตรพร้อมด้วยเซ็นเซอร์ทั้งสองเซนเซอร์มีผลใช้บังคับฮอร์นพีโซได้รับการใช้งานสำหรับการควบคุมความถี่สูงกันสะเทือนในขณะที่ความเมื่อยล้าหรือคลื่นแม่เหล็กไฟฟ้าที่มีการใช้ระบบสัมผัสคาปาซิทีฟสำหรับการติดตามการควบคุมด้วย