photolithography was applied on the

photolithography was applied on the thick photoresist
using a KrF excimer laser stepper

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ใช้สร้างลายวงจรด้วยแสงบนเพียงหนาการใช้ stepper แบบเลเซอร์เครื่อง KrF

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

photolithography ถูกนำมาใช้ในไวแสงหนา
ใช้ KrF excimer stepper เลเซอร์