This study demonstrated a highly se

This study demonstrated a highly sensitive hydrogen sensor consisting of Pd-decorated TiO2 tubular structures on SiO2/Si substrate. Ti layer was deposited on a thermally oxidized Si substrate with patterned metal electrodes. TiO2 nanotubes were prepared by an anodization of Ti layer in an organic electrolyte containing NH4F 0.3 wt.% in ethylene glycol. Thin Pd layer was deposited on the detection area of the TiO2 layer to enhance detection abilities. The formation of the TiO2 layers on both the metal electrode and SiO2 layers was investigated by FESEM and EDS. After annealing at 500 °C, the crystalline phase transformation from amorphous to anatase was confirmed by XRD. The hydrogen sensing properties of the sensor were investigated in synthetic air, nitrogen and humid air at 140–180 °C. The Pd deposition effectively improved the hydrogen sensing abilities of the sensor due to catalytic effect of Pd. The sensor showed promising hydrogen sensing characteristics, such as a high response, a wide detection range (1 ppm–1%), a fast reaction time and a good selectivity. This sensor fabrication process can offer feasibility for mass production of micro scaled sensors using anodically prepared TiO2 sensors.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

การศึกษานี้แสดงให้เห็นว่าเซนเซอร์มีความไวสูงไฮโดรเจนประกอบด้วยโครงสร้างท่อ TiO2 Pd ตกแต่งบนพื้นผิวของ SiO2/ศรี มีฝากตี้ชั้นบนกับพื้นผิวสีแพตกแต่งด้วยหุงตโลหะมีลวดลาย TiO2 nanotubes ถูกเตรียม โดยการ anodization ตี้ชั้นในการอิเล็กโทรอินทรีย์ประกอบด้วย NH4F wt.% 0.3 ในเอทิลีนเอทิ บางชั้น Pd ได้ฝากในพื้นที่ตรวจสอบของชั้น TiO2 เพื่อเพิ่มความสามารถในการตรวจสอบ การก่อตัวของชั้น TiO2 บนทั้งโลหะอิเล็กโทรดและชั้น SiO2 ถูกตรวจสอบ โดย FESEM และ EDS หลังจากการอบเหนียวที่ 500 ° C การแปลงเฟสผลึกจากไปเพื่อ anatase ถูกยืนยัน โดย XRD คุณสมบัติ sensing ไฮโดรเจนของเซนเซอร์ถูกสอบสวนในอากาศสังเคราะห์ ไนโตรเจน และอากาศชื้นที่ 140-180 องศาเซลเซียส สะสม Pd มีประสิทธิภาพปรับปรุงความสามารถของ sensing ไฮโดรเจนของเซ็นเซอร์เนื่องจากตัวเร่งปฏิกิริยาผลของ Pd การเซ็นเซอร์พบว่าไฮโดรเจนไร้สายลักษณะ เช่นการตอบสนองสูง ความกว้างช่วงการตรวจสอบ (1 ppm-1%), เวลาตอบสนองรวดเร็วและวิธีที่ดี กระบวนการผลิตเซนเซอร์นี้สามารถนำเสนอความเป็นไปได้สำหรับมวลผลิตเซนเซอร์ขนาดเล็กที่ใช้เซนเซอร์ TiO2 anodically เตรียมปรับสัดส่วนได้

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

การศึกษาครั้งนี้แสดงให้เห็นถึงตรวจจับก๊าซไฮโดรเจนมีความไวสูงซึ่งประกอบด้วย TiO2 Pd ตกแต่งโครงสร้างท่อบนพื้นผิว SiO2 / ศรี ชั้น Ti ถูกวางบนพื้นผิวความร้อนออกซิไดซ์ศรีกับขั้วโลหะที่มีลวดลาย ท่อนาโน TiO2 ได้จัดทำขึ้นโดย anodization ของชั้น Ti ในอิเล็กโทรไลอินทรีย์ที่มีน้ำหนัก NH4F 0.3.% ในเอทิลีนไกลคอล บางชั้น Pd ถูกวางลงบนพื้นที่ตรวจสอบของชั้น TiO2 เพื่อเพิ่มความสามารถในการตรวจจับ การก่อตัวของชั้น TiO2 ทั้งขั้วโลหะและชั้น SiO2 ที่ได้รับการตรวจสอบโดย FESEM และ EDS หลังจากการอบที่ 500 องศาเซลเซียสการเปลี่ยนแปลงผลึกจากอสัณฐานแอนาเทสที่จะได้รับการยืนยันจาก XRD ไฮโดรเจนคุณสมบัติการตรวจจับของเซ็นเซอร์ถูกตรวจสอบในอากาศสังเคราะห์ไนโตรเจนและอากาศชื้นที่ 140-180 องศาเซลเซียส การสะสม Pd ดีขึ้นได้อย่างมีประสิทธิภาพความสามารถในการตรวจจับไฮโดรเจนของเซ็นเซอร์เนื่องจากผลของตัวเร่งปฏิกิริยาแพลเลเดียม เซ็นเซอร์ที่มีแนวโน้มที่แสดงให้เห็นลักษณะการตรวจจับไฮโดรเจนเช่นการตอบสนองสูงช่วงการตรวจสอบกว้าง (1 ppm-1%) ซึ่งเป็นเวลาปฏิกิริยาอย่างรวดเร็วและการเลือกที่ดี ขั้นตอนการผลิตเซ็นเซอร์นี้สามารถนำเสนอความเป็นไปได้สำหรับการผลิตมวลของไมโครเซ็นเซอร์ปรับใช้เตรียม anodically เซ็นเซอร์ TiO2

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

การศึกษานี้แสดงให้เห็นถึงความไวสูงเซ็นเซอร์ไฮโดรเจนประกอบด้วย TiO2 โครงสร้างบน SiO2 PD ตกแต่งท่อ / ศรีสาร ชั้นตีฝากบนพื้นผิวด้วยลวดลายจากจังหวัด ซึ่งขั้วไฟฟ้าโลหะ นาโน TiO2 ถูกเตรียมโดยโนไดเซชั่นของชั้น Ti ในอินทรีย์อิเล็กโทรไลต์ที่มี nh4f 0.3 % โดยน้ำหนักในเอทิลีนไกลคอลผู้กำกับบางชั้นฝากในการตรวจสอบพื้นที่ของชั้น ) เพื่อเพิ่มความสามารถในการตรวจสอบ การก่อตัวของ TiO2 ชั้นทั้งบนโลหะ electrode และ SiO2 ชั้นถูกตรวจสอบโดย fesem แผนที่และเมื่ออบอ่อนที่อุณหภูมิ 500 องศา C , ผลึกเปลี่ยนเฟสจากสัณฐานกับแอนาเทสที่ได้รับการยืนยันโดย XRD .ไฮโดรเจนสัมผัสคุณสมบัติของเซนเซอร์ได้ในอากาศสังเคราะห์ ปริมาณไนโตรเจน และอากาศชื้นที่ 140 - 180 องศา ผู้กำกับการได้อย่างมีประสิทธิภาพปรับปรุงการตรวจจับไฮโดรเจนความสามารถของเซ็นเซอร์เนื่องจากอิทธิพลการ PD เซ็นเซอร์พบสัญญาลักษณะการตรวจจับไฮโดรเจน เช่น การตอบสนองสูงหลากหลายการค้นหา ( 1 ส่วนในล้านส่วน ( 1% )เวลาปฏิกิริยาอย่างรวดเร็วและการเลือกที่ดี เซนเซอร์นี้ผลิตกระบวนการสามารถให้ความเป็นไปได้ในการผลิตไมโครเซ็นเซอร์ปรับใช้ anodically เตรียม ) เซ็นเซอร์