1. IntroductionThe metal oxynitride

1. Introduction
The metal oxynitrides, MeNxOy (Me = early transition metal), belong to a new class of materials that is gaining importance because of their high potential to be used for decorative applications in high quality consumer products. During last years there has been published work about the production and characterization of metal oxynitride thin films [1–7], but the understanding of the fundamental mechanisms that explain both structural and mechanical behaviour is yet insufficient. To prepare these films, very careful control of the gas flow rates is needed since the final properties will depend much on their atomic ratio, and oxygen exhibits a stronger reactivity than
nitrogen with the metal [2]. Tuning the oxide/nitride ratio changes the crystallographic order between oxide and nitride, hence elucidating the relationship between the corresponding physical, structural and mechanical properties [6]. Most of the published work related with Raman scattering in zirconium oxide concerns dynamical properties [8–10], structural transformations induced by the additions of stabilizers [11–13] and nano-sized effects [14]. Zirconium oxide can be found basically in three different phases, cubic (c-ZrO2), tetragonal (t-ZrO2) and monoclinic (m-ZrO2). The structure of t-ZrO2 belongs to the symmetry group D4 h 15 (P42/nmc) with two units of ZrO2 per unit cell, and 6
Raman active modes. Cubic zirconia belongs to the Oh 5 (Fm3¯m) group with one unit of ZrO2 per unit cell and only one Raman active mode, while the monoclinic structure belongs to the D2 h 5 (P21/c) with four units of ZrO2 per unit cell and 18 Raman active modes [10,15]. Many transition-metal nitrides, like ZrN, crystallise in the sodium-chloride-type structures and, in an ideal “perfect” crystal, first order Raman scattering is forbidden. Nevertheless sputtered coatings are known to have vacancies that induce distortion in the structure [7], and in consequence the Raman spectrum is composed of broadened bands due to disorder and second order processes. The main purpose of this work is the preparation of singlelayered zirconium oxynitrides, ZrOxNy films and the relationship
between the composition and structure. Thin films, prepared by DC reactive magnetron sputtering, were characterized by Raman Spectroscopy (RS), and the results are correlated with the composition, evaluated by Rutherford Backscattering spectrometry (RBS), and the structure obtained by X-ray diffraction (XRD).

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

1. บทนำโลหะ oxynitrides, MeNxOy (ฉัน =ช่วงเปลี่ยนโลหะ), เป็นชั้นของวัสดุใหม่ที่กำลังได้รับความสำคัญเนื่องจากศักยภาพของพวกเขาสูงจะใช้สำหรับงานตกแต่งในสินค้าอุปโภคบริโภคคุณภาพ ในช่วงสุดท้าย ปีได้มีการเผยแพร่งานเกี่ยวกับการผลิตและคุณสมบัติของฟิล์มบาง oxynitride โลหะ [1-7], แต่เข้าใจกลไกพื้นฐานที่อธิบายพฤติกรรมของโครงสร้าง และเครื่องจักรกลยังไม่เพียงพอ การเตรียมฟิล์มเหล่านี้ โปรดระมัดระวังควบคุมอัตราการไหลก๊าซจำเป็นต้องใช้เนื่องจากคุณสมบัติสุดท้ายจะมากขึ้นอยู่กับอัตราส่วนของอะตอม และการจัดแสดงออกซิเจนเกิดปฏิกิริยาแข็งแกร่งกว่าไนโตรเจนกับโลหะ [2] ปรับอัตราส่วนของ ออกไซด์/nitride เปลี่ยนสั่ง crystallographic ระหว่างออกไซด์และ nitride, elucidating ดังนั้น ความสัมพันธ์ระหว่างคุณสมบัติเกี่ยวข้องทางกายภาพ โครงสร้าง และเครื่องจักรกล [6] ส่วนใหญ่ทำงานเผยแพร่ที่เกี่ยวข้องกับรามันที่โปรยในเซอร์โคเนียมออกไซด์คุณสมบัติ dynamical กังวล [8-10], แปลงโครงสร้างที่เกิดจากการเพิ่มของ stabilizers [11-13] และผลขนาดนาโน [14] เซอร์โคเนียมออกไซด์สามารถพบโดยทั่วไปใน 3 ระยะแตกต่างกัน ลูกบาศก์ (c-ZrO2), tetragonal (t-ZrO2) และ monoclinic (m-ZrO2) โครงสร้างของ t ZrO2 เป็นการสมมาตรกลุ่ม D4 h 15 (P42 nmc) ZrO2 ต่อเซลล์หน่วยสองหน่วย และ 6วิธีการใช้งานรามัน ต่างหูเป็นของการโอ้ 5 (Fm3¯m) กับหนึ่งหน่วยของ ZrO2 ต่อหน่วยเซลล์เดียวรามันโหมดใช้งาน ในขณะที่โครงสร้าง monoclinic อยู่ D2 h 5 (P21/c) กับหน่วย 4 ZrO2 ต่อหน่วยเซลล์และ 18 รามันที่เปิดใช้งานโหมด [10,15] Nitrides โลหะทรานซิชันหลาย เช่น ZrN, crystallise ในโครงสร้างโซเดียมคลอไรด์ชนิด ก ในคริสตัล "สมบูรณ์แบบ" พัก ก่อนสั่งห้าม scattering รามัน อย่างไรก็ตาม ทราบว่าเคลือบ sputtered มีตำแหน่งที่ก่อให้เกิดความผิดเพี้ยนในโครงสร้าง [7], และในผล สเปกตรัมรามันประกอบด้วยขยายวงโรคและกระบวนการลำดับที่สอง วัตถุประสงค์หลักของงานนี้คือ การเตรียม oxynitrides singlelayered เซอร์โคเนียม ฟิล์ม ZrOxNy และความสัมพันธ์ระหว่างองค์ประกอบและโครงสร้าง ฟิล์มบาง โดย DC magnetron ปฏิกิริยาพ่น ถูกลักษณะโดยรามันก (RS), และผลลัพธ์มี correlated กับองค์ประกอบ ประเมิน โดยรูเทอร์ฟอร์ด Backscattering spectrometry (RBS), และโครงสร้างที่ได้รับ โดยการเอ็กซ์เรย์การเลี้ยวเบน (XRD)

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

1. บทนำ
oxynitrides โลหะ MeNxOy (Me = โลหะทรานซิต้น) อยู่ในระดับใหม่ของวัสดุที่กำลังได้รับความสำคัญเพราะการที่มีศักยภาพสูงของพวกเขาที่จะใช้สำหรับการใช้งานการตกแต่งในสินค้าอุปโภคบริโภคที่มีคุณภาพสูง ในช่วงปีที่ผ่านมาได้มีการตีพิมพ์ผลงานเกี่ยวกับการผลิตและลักษณะของโลหะ oxynitride ฟิล์มบาง [1-7] แต่ความเข้าใจในกลไกพื้นฐานที่อธิบายทั้งพฤติกรรมของโครงสร้างและเครื่องจักรกลก็ยังไม่เพียงพอ เพื่อเตรียมความพร้อมภาพยนตร์เหล่านี้ควบคุมระมัดระวังเป็นอย่างมากของอัตราการไหลของก๊าซเป็นสิ่งจำเป็นเนื่องจากคุณสมบัติขั้นสุดท้ายจะขึ้นอยู่มากในอัตราส่วนอะตอมของพวกเขาและการจัดแสดงนิทรรศการออกซิเจนปฏิกิริยาแข็งแกร่งกว่า
ไนโตรเจนด้วยโลหะ [2] จูนออกไซด์ / อัตราส่วนไนไตรด์การเปลี่ยนแปลงเพื่อ crystallographic ระหว่างออกไซด์และไนไตรด์จึงแจ่มชัดความสัมพันธ์ระหว่างคุณสมบัติทางกายภาพโครงสร้างและเครื่องจักรกลที่สอดคล้องกัน [6] ส่วนใหญ่ของผลงานตีพิมพ์ที่เกี่ยวข้องด้วยรามันกระจายในความกังวลเซอร์โคเนียมออกไซด์คุณสมบัติพลัง [8-10] การเปลี่ยนแปลงโครงสร้างที่เกิดจากการเพิ่มความคงตัวของ [11-13] และผลกระทบขนาดนาโน [14] เซอร์โคเนียมออกไซด์สามารถพบได้โดยทั่วไปในสามขั้นตอนที่แตกต่างกัน, ลูกบาศก์ (C-ZrO2) เตตระโกน (t-ZrO2) และ monoclinic (M-ZrO2) โครงสร้างของ t-ZrO2 เป็นสัดส่วนกลุ่ม D4 ชั่วโมง 15 (P42 / NMC) กับสองหน่วยของ ZrO2 ต่อหน่วยเซลล์และ 6
รามันโหมดการใช้งาน เซอร์โคเนียลูกบาศก์เป็นโอ้ 5 (Fm3¯m) กลุ่มที่มีหนึ่งหน่วยของ ZrO2 ต่อหน่วยเซลล์และเพียงหนึ่งโหมดที่ใช้งานรามันในขณะที่โครงสร้าง monoclinic เป็น D2 ชั่วโมง 5 (P21 / c) กับสี่หน่วย ZrO2 ต่อหน่วย เซลล์และ 18 โหมดการใช้งานรามัน [10,15] ไนไตรโลหะการเปลี่ยนแปลงมากเช่น ZRN, ตกผลึกในโครงสร้างโซเดียมคลอไรด์ชนิดและในอุดมคติ "ที่สมบูรณ์แบบ" คริสตัลสั่งซื้อครั้งแรกกระเจิงรามันเป็นที่ต้องห้าม อย่างไรก็ตามเคลือบ sputtered เป็นที่รู้จักกันที่จะมีตำแหน่งงานว่างที่ทำให้เกิดการบิดเบือนในโครงสร้าง [7] และในผลสเปกตรัมรามันประกอบด้วยวงกว้างเนื่องจากความผิดปกติและกระบวนการลำดับที่สอง วัตถุประสงค์หลักของงานนี้คือการเตรียมความพร้อมของ oxynitrides เซอร์โคเนียม singlelayered ภาพยนตร์ ZrOxNy และความสัมพันธ์
ระหว่างองค์ประกอบและโครงสร้าง ฟิล์มบางที่จัดทำโดยซีปฏิกิริยาสปัตเตอร์แมกถูกโดดเด่นด้วยสเปกรามัน (RS) และผลที่มีความสัมพันธ์กับองค์ประกอบการประเมินโดย spectrometry Rutherford backscattering (RBS) และโครงสร้างที่ได้จาก X-ray diffraction (XRD)

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

1 . บทนำ
oxynitrides menxoy โลหะ , ( ฉัน = ก่อนการเปลี่ยนโลหะ ) , เป็นสมาชิกของคลาสใหม่ของวัสดุที่เป็นดึงดูดความสำคัญเพราะศักยภาพของพวกเขาที่จะใช้สำหรับการตกแต่งงานในผลิตภัณฑ์เพื่อผู้บริโภคคุณภาพสูง ในปีที่ผ่านมามีการตีพิมพ์ผลงานเกี่ยวกับการผลิตและการหาลักษณะเฉพาะของฟิล์มบางโลหะ oxynitride 1 ) [ 7 ]แต่ความเข้าใจในพื้นฐานกลไกที่อธิบายทั้งโครงสร้างและพฤติกรรมทางกลก็ยังไม่เพียงพอ เตรียมภาพยนตร์เหล่านี้ควบคุมระมัดระวังมากของอัตราการไหลของแก๊ส อัตราเป็นสิ่งจำเป็นเนื่องจากสมบัติสุดท้ายจะขึ้นอยู่มากในอัตราส่วนโดยอะตอมของออกซิเจนและจัดแสดงการแข็งแกร่งกว่า
ไนโตรเจนด้วยโลหะ [ 2 ]ปรับอัตราส่วนของออกไซด์ / ไนไตรด์เปลี่ยนแปลงการสั่งซื้อทางระหว่างออกไซด์และไนไตรด์ ดังนั้นการศึกษาความสัมพันธ์ระหว่างโครงสร้างกับสมบัติทางกายภาพ , [ 6 ] และกล ส่วนใหญ่ของงานที่ตีพิมพ์ที่เกี่ยวข้องกับรามันกระจัดกระจายในเซอร์โคเนียมออกไซด์เกี่ยวกับพลวัตคุณสมบัติ [ 8 – 10 ]การแปลงโครงสร้างที่เกิดจากการเพิ่มของความคงตัว [ 11 – 13 ] และนาโนผล [ 14 ] เซอร์โคเนียมออกไซด์สามารถพบได้โดยทั่วไปใน 3 ขั้นตอนที่แตกต่างกัน , ลูกบาศก์ ( c-zro2 ) , เตตระโกนอล ( t-zro2 ) และโมโนคลินิก ( m-zro2 ) โครงสร้างของ t-zro2 เป็นของกลุ่มสมมาตร D4 H 15 ( p42 / NMC ) กับของ ZrO2 ต่อเซลล์หน่วยสองหน่วย และ 6
รามันใช้งานโหมดลูกบาศก์ Zirconia เป็นของโอ 5 ( fm3 ¯ M ) กลุ่มหนึ่งหน่วยของ ZrO2 ต่อหน่วยเซลล์และเพียงหนึ่งรามันปราดเปรียวโหมด ในขณะที่โครงสร้างโมโนคลินิกเป็นของ D2 H 5 ( ความแปรปรวนทางอารมณ์ / C ) กับสี่หน่วยของ ZrO2 ต่อหน่วยเซลล์และ 18 รามันโหมดการใช้งาน [ 10 15 ] หลายโลหะทรานซิชันไนไตรด์ เหมือน zrn crystallise , ในโซเดียมคลอไรด์ชนิดโครงสร้างและในอุดมคติที่สมบูรณ์แบบ " " คริสตัลสั่งซื้อครั้งแรกรามันกระจัดกระจายเป็นสิ่งต้องห้าม อย่างไรก็ตาม sputtered เคลือบ รู้จักมีงานที่ทำให้เกิดการบิดเบือนในโครงสร้าง [ 7 ] และในผลสเปกตรัมรามันประกอบด้วยขยายวงเนื่องจากกระบวนการโรค และอันดับสอง จุดประสงค์หลักของงานนี้คือการเตรียม singlelayered oxynitrides เซอร์โคเนียม , zroxny ภาพยนตร์และความสัมพันธ์
ระหว่างองค์ประกอบและโครงสร้าง ฟิล์มบาง , เตรียมโดยปฏิกิริยาแมกนีตรอนสปัตเตอร์ DC เป็น characterized โดยรามันสเปกโทรสโกปี ( RS ) และผลลัพธ์มีความสัมพันธ์กับองค์ประกอบการประเมินโดย Rutherford backscattering spectrometry ( RBS ) และโครงสร้างได้ด้วยเครื่อง X-ray diffraction ( XRD )