The growth chamber substrate stage

The growth chamber substrate stage is surrounded by a large liquid nitrogen-cooled cryopanel, which has a high pumping speed for H2O, CO, O2 and other condensable species.

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

ขั้นพื้นห้องเติบโตท่ามกลางความใหญ่ของเหลวระบายความร้อนด้วยไนโตรเจน cryopanel ซึ่งมีความเร็วสูงสูบน้ำ H2O, CO, O2 และสายพันธุ์อื่น ๆ condensable

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

ขั้นตอนการเจริญเติบโตของพื้นผิวห้องล้อมรอบด้วยไนโตรเจนระบายความร้อนด้วยของเหลว cryopanel ขนาดใหญ่ซึ่งมีความเร็วสูงสำหรับการสูบน้ำ H2O, CO, O2 และสายพันธุ์อื่น ๆ ควบแน่น

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

พื้นผิวห้องระยะการเจริญเติบโต แวดล้อมด้วยไนโตรเจนเหลวเย็น cryopanel ขนาดใหญ่ซึ่งมีความเร็วสูงปั๊มสำหรับ H2O , CO , O2 และชนิดย่ออื่น ๆ