The micro generator needs a post-CM

The micro generator needs a post-CMOS process to release the suspended structures of hot part , which the post-process includes an anisotropic dry etching to etch

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

เครื่องกำเนิดไฟฟ้าขนาดเล็กต้องการกระบวนการ CMOS ประกาศลั่นโครงสร้างพักชั่วคราวของส่วนร้อน ซึ่งรวมถึงกระบวนการหลังการ anisotropic แห้งแกะสลักการกัด

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

เครื่องกำเนิดไฟฟ้าขนาดเล็กที่ต้องการกระบวนการ CMOS โพสต์ที่จะปล่อยโครงสร้างระงับส่วนหนึ่งของร้อนซึ่งกระบวนการโพสต์รวมถึงการแกะสลัก anisotropic แห้งกัด

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

เครื่องกำเนิดไฟฟ้าขนาดเล็กความต้องการกระบวนการโพสต์แบบปล่อยระงับร้อน ส่วนโครงสร้าง ซึ่งกระบวนการโพสต์ รวมถึงทิศทางการ etch แห้ง