potlight summary: Modern optical an

potlight summary: Modern optical and electronic industries would be impossible without the production of thin films of various materials. From classical high-reflective or anti-reflective coatings, high-performance laser mirrors, insulator layers in semiconductor chip production to photovoltaics and organic electronics: thin films can be found in virtually every high-tech device manufactured today. Since the beginnings of thin-films technology, one of the main technological challenges has not changed: the thickness of the thin films and their homogeneity must be measured in a fast and reliable way, if possible in situ. This task alone has generated an entire industry for film thickness measurement devices.

In this Applied Optics paper the author introduces a fast way to measure thicknesses by measuring the normal incidence reflectance at 3 different spectral points which are already widely used in RGB color cameras. This method allows for very fast measurements and is applicable also within an imaging device with a very high resolution. As with many optical thin film analysis methods, the problem is mainly the computational analysis of the measurement. Therefore, the author of this paper pays special attention to the presentation of the algorithms used. The thickness of the sample layer is calculated by two different methods: a global fitting algorithm (GMFT) which is applied in various forms in virtually all optical thickness determination programs (e.g. for ellipsometry) and a direct thickness determination by phase unwrapping (ACOS method). The latter algorithm is only useful when there is already a sensible thickness estimate to start with. By a combination of these algorithms, a fast and reliable thickness determination is achieved. This method is then tested with simulated measurement values as well as with real measurements taken with a home-built camera system on film-thickness standard samples. These tests show the usefulness and accuracy of the method when applied to data relevant to industrial measurement tasks. The method’s usefulness stems mainly from its ease of use and speed of the overall analysis process. It must be noted, though, that this approach is applicable only in cases where the refractive index dispersion of the materials in question is already known, and therefore standard methods like spectral reflectometry and ellipsometry cannot be replaced by this method when materials with an unknown dielectric function are involved.

The concise and clear presentation of the algorithm and the thorough testing of the new method make this paper a highlight of industrial thin-film metrology development. For fast imaging measurements, this three-wavelength approach has a true advantage over the slower methods. With more development on the computational side, this method could become a very important innovation for film thickness measurement. Therefore, this work will surely stimulate innovation in industrial thin film coatings measurements

ผลลัพธ์ (ไทย) 1:

สรุป potlight: อุตสาหกรรมแสงและอิเล็กทรอนิกส์ที่ทันสมัย​​จะเป็นไปไม่ได้โดยไม่ต้องผลิตฟิล์มบางของวัสดุต่างๆ จากคลาสสิกสูงเคลือบสะท้อนแสงหรือป้องกันแสงสะท้อนกระจกเลเซอร์ที่มีประสิทธิภาพสูงชั้นฉนวนในการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์พลังแสงอาทิตย์พลังและอิเล็กทรอนิกส์อินทรีย์ฟิล์มบางสามารถพบได้ในเกือบทุกอุปกรณ์ไฮเทคทุกผลิตวันนี้ ตั้งแต่จุดเริ่มต้นของเทคโนโลยีฟิล์มบางซึ่งเป็นหนึ่งในความท้าทายทางเทคโนโลยีหลักไม่ได้เปลี่ยนแปลงความหนาของฟิล์มบางและความสม่ำเสมอของพวกเขาจะต้องมีการวัดในวิธีที่รวดเร็วและเชื่อถือได้ถ้าเป็นไปได้ในแหล่งกำเนิด งานนี้คนเดียวได้สร้างอุตสาหกรรมทั้งหมดสำหรับอุปกรณ์การวัดความหนาของฟิล์ม.

ในครั้งนี้นำไปใช้กระดาษเลนส์ที่ผู้เขียนแนะนำเป็นวิธีที่รวดเร็วในการวัดความหนาโดยการวัดอัตราการเกิดการสะท้อนปกติท​​ี่ 3 จุดสเปกตรัมที่แตกต่างกันที่มีอยู่แล้วนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในกล้องสี rgb วิธีการนี​​้ช่วยให้การวัดอย่างรวดเร็วและมีผลบังคับใช้ยังอยู่ในอุปกรณ์การถ่ายภาพที่มีความละเอียดสูงมาก เช่นเดียวกับหลายวิธีการวิเคราะห์ฟิล์มบางแสงปัญหาคือส่วนใหญ่การวิเคราะห์การคำนวณของการวัด ดังนั้นผู้เขียนบทความนี้ให้ความสำคัญเป็นพิเศษเพื่อนำเสนอขั้นตอนวิธีการที่ใช้ ความหนาของชั้นตัวอย่างการคำนวณโดยสองวิธีที่แตกต่างกันวิธีการที่เหมาะสมทั่วโลก (gmft) ซึ่งถูกนำมาใช้ในรูปแบบต่างๆในแทบทุกโปรแกรมการกำหนดความหนาของออปติคอล (เช่นเพื่อ Ellipsometry) และการกำหนดความหนาโดยตรงโดยขั้นตอนการ unwrapping (วิธี acos) ขั้นตอนวิธีการหลังเป็นประโยชน์เฉพาะเมื่อมีอยู่แล้วประมาณความหนาที่เหมาะสมที่จะเริ่มต้นด้วย โดยการรวมกันของขั้นตอนวิธีการเหล่านี้กำหนดความหนาได้อย่างรวดเร็วและเชื่อถือได้คือความสำเร็จวิธีการนี​​้ได้รับการทดสอบแล้วกับค่าการวัดจำลองเป็นอย่างดีเช่นเดียวกับการวัดจริงที่ถ่ายด้วยระบบกล้องที่บ้านสร้างขึ้นบนมาตรฐานตัวอย่างฟิล์มหนา การทดสอบเหล่านี้แสดงให้เห็นถึงประโยชน์และความถูกต้องของวิธีการที่เมื่อนำไปใช้กับข้อมูลที่เกี่ยวข้องกับงานวัดอุตสาหกรรม ประโยชน์ของว​​ิธีลำต้นส่วนใหญ่มาจากความสะดวกในการใช้งานและความเร็วของการวิเคราะห์โดยรวมจะต้องสังเกตได้ว่าวิธีการนี​​้จะใช้ได้เฉพาะในกรณีที่มีการกระจายดัชนีหักเหของวัสดุในคำถามที่เป็นที่รู้จักกันอยู่แล้วและดังนั้นจึงวิธีการมาตรฐานเช่น Reflectometry สเปกตรัมและ Ellipsometry ไม่สามารถแทนที่ด้วยวิธีการนี​​้เมื่อวัสดุที่มีอิเล็กทริกที่ไม่รู้จัก ฟังก์ชั่นมีส่วนร่วม.

การนำเสนอที่กระชับและชัดเจนของขั้นตอนวิธีและการทดสอบอย่างละเอียดของวิธีการใหม่ทำให้กระดาษนี้ได้ไฮไลต์ของการพัฒนาอุตสาหกรรมมาตรวิทยาฟิล์มบาง สำหรับการวัดการถ่ายภาพอย่างรวดเร็วนี้วิธีการสามความยาวคลื่นมีข้อได้เปรียบที่แท้จริงมากกว่าวิธีการช้าลง มีการพัฒนามากขึ้นในด้านการคำนวณที่วิธีการนี​​้อาจจะกลายเป็นนวัตกรรมที่สำคัญมากสำหรับการวัดความหนาของฟิล์ม ดังนั้นงานนี้ก็จะกระตุ้นให้เกิดนวัตกรรมในบางวัดเคลือบฟิล์มอุตสาหกรรม

ผลลัพธ์ (ไทย) 2:

potlight สรุป: อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ และแสงที่ทันสมัยจะไม่ โดยไม่มีการผลิตฟิล์มบางของวัสดุต่าง ๆ จากคลาสสิกสูงสะท้อนแสง หรือสะท้อนแสงป้องกันเคลือบ เลเซอร์ประสิทธิภาพสูงกระจก ชั้นฉนวนกันความร้อนในสารกึ่งตัวนำผลิตชิปกับแผงเซลล์แสงอิเล็กทรอนิกส์อินทรีย์: ฟิล์มบาง ๆ ที่สามารถพบได้ในแทบอุปกรณ์ไฮเทคทุกวันนี้ผลิต ตั้งแต่จุดเริ่มต้นของเทคโนโลยีฟิล์มบาง ความท้าทายทางเทคโนโลยีหลักอย่างใดอย่างหนึ่งไม่เปลี่ยนแปลง: ต้องวัดความหนาของฟิล์มบางและ homogeneity ของพวกเขาอย่างรวดเร็ว และเชื่อถือได้แบบ ถ้าเป็นไปได้ใน situ งานนี้คนเดียวได้สร้างอุตสาหกรรมทั้งอุปกรณ์วัดความหนาของฟิล์ม

ผู้เขียนแนะนำวิธีรวดเร็วในการวัดความหนา โดยการวัดแบบสะท้อนแสงปกติอุบัติการณ์ที่ 3 สเปกตรัมสามที่ใช้กันอย่างแพร่หลายแล้วในกล้องสี RGB ในกระดาษนี้ใช้เลนส์ วิธีนี้ช่วยให้การประเมินอย่างรวดเร็ว และสามารถใช้ได้นอกจากนี้ภายในอุปกรณ์การถ่ายภาพด้วยความละเอียดสูงมาก เช่นเดียวกับวิธีในการวิเคราะห์ฟิล์มบางแสง ปัญหาคือ ส่วนใหญ่การวิเคราะห์คำนวณการวัด ดังนั้น ผู้เขียนของเอกสารนี้จ่ายความสนใจพิเศษในงานนำเสนอของอัลกอริทึมที่ใช้ ความหนาของชั้นตัวอย่างคำนวณ โดยสองวิธี: อัลกอริธึมเหมาะสมสากล (GMFT) ซึ่งจะใช้ในรูปแบบต่าง ๆ ในโปรแกรมกำหนดความหนาแสงแทบทั้งหมด (เช่น สำหรับ ellipsometry) และการกำหนดความหนาโดยตรง โดยระยะ unwrapping (ACOS วิธี) อัลกอริทึมหลังเท่านั้นมีประโยชน์เมื่อมีแล้วประเมินความหนาที่เหมาะสมจะเริ่มต้นด้วย การกำหนดความหนาได้อย่างรวดเร็ว และเชื่อถือได้สามารถทำได้ โดยใช้อัลกอริทึมเหล่านี้ แล้วมีทดสอบวิธีนี้ มีค่าวัดจำลองเช่น เดียว กับวัดจริงกับระบบกล้องที่สร้างบ้านในตัวอย่างมาตรฐานความหนาของฟิล์ม ทดสอบเหล่านี้แสดงประโยชน์และความถูกต้องของวิธีการใช้ข้อมูลที่เกี่ยวข้องกับงานวัดอุตสาหกรรม ประโยชน์ของวิธีการลำต้นส่วนใหญ่จากการใช้งานที่ง่ายและความเร็วของการวิเคราะห์โดยรวม จะต้องบันทึก แม้ว่า ว่าวิธีการนี้ใช้ได้เฉพาะในกรณีที่กระจายตัวดรรชนีหักเหของวัสดุเป็นที่รู้จักกันแล้ว และดังนั้น วิธีการมาตรฐานเช่นสเปกตรัม reflectometry และ ellipsometry ไม่สามารถถูกแทนที่ ด้วยวิธีนี้เมื่อเกี่ยวข้องกับฟังก์ชันที่เป็นฉนวนไม่รู้จักกัน

งานนำเสนอที่กระชับ และชัดเจนของขั้นตอนวิธีการและการทดสอบอย่างละเอียดของทำวิธีใหม่นี้กระดาษเน้นพัฒนาอุตสาหกรรมฟิล์มบางมาตรวิทยา สำหรับการประเมินเกี่ยวกับภาพอย่างรวดเร็ว วิธีการสามความยาวคลื่นนี้ได้เปรียบวิธีช้าจริง มีการพัฒนาเพิ่มเติมในด้านคำนวณ วิธีนี้อาจกลายเป็น นวัตกรรมที่สำคัญมากสำหรับวัดความหนาของฟิล์ม ดังนั้น นี้จะกระตุ้นนวัตกรรมในอุตสาหกรรมฟิล์มบางเคลือบวัดแน่นอน

ผลลัพธ์ (ไทย) 3:

สรุป potlight อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และออปติคอลไดรฟ์ที่ทันสมัยจะเป็นไปไม่ได้โดยไม่ต้องการผลิต ภาพยนตร์ บางของวัสดุที่หลากหลาย. จากสีเคลือบเงาสูง - สะท้อนแสงหรือการป้องกันการสะท้อนแสงแบบคลาสสิคกระจกเลเซอร์ ประสิทธิภาพ สูงชั้นฉนวนในการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ photovoltaics เพื่อเข้าไปยังส่วนอิเล็กทรอนิกส์และประกอบรัฐธรรมนูญภาพยนตร์ บางสามารถพบได้ในเกือบทุกอุปกรณ์เทคโนโลยีขั้นสูงผลิตในวันนี้ นับตั้งแต่การเริ่มต้นของเทคโนโลยีบาง - ภาพยนตร์ เป็นหนึ่งในความท้าทายสำคัญทางด้านเทคโนโลยีที่ไม่มีการเปลี่ยนแปลงความหนาของ ภาพยนตร์ บางที่ซึ่งประกอบขึ้นด้วยส่วนที่เหมือนกันและจะต้องได้รับการวัดเป็นวิธีการที่รวดเร็วและเชื่อถือได้หากเป็นไปได้ในที่เดิม งานนี้คนเดียวได้สร้างอุตสาหกรรมทั้งหมดสำหรับอุปกรณ์การวัดความหนาของ ภาพยนตร์ .

อุปกรณ์ออปติกที่ใช้เอกสารนี้ผู้เขียนขอแนะนำวิธีที่เร็วที่สุดในการวัดความหนาได้โดยการวัด reflectance อุบัติการณ์ปกติที่ 3 จุดความยาวคลื่นที่แตกต่างกันได้มีการใช้กันอย่างแพร่หลายใช้ในกล้องสี RGB อยู่แล้ว วิธีนี้จะช่วยให้สำหรับการวัดค่าได้อย่างรวดเร็วเป็นอย่างมากและมีผลบังคับใช้ยังอยู่ ภายใน อุปกรณ์การถ่าย ภาพ ที่มีความละเอียดสูงเป็นอย่างมาก และด้วยวิธีใดวิธีหนึ่งการวิเคราะห์ ภาพยนตร์ จำนวนมากบางออปติคอลไดรฟ์ปัญหาที่ส่วนใหญ่เป็นการวิเคราะห์ประมวลผลการวัดได้ ดังนั้นผู้เขียนที่ของเอกสารฉบับนี้ให้ความใส่ใจเป็นพิเศษในการนำเสนอของอัลกอริธึมที่ใช้ ความหนาของชั้นตัวอย่างที่มีการคำนวณโดยวิธีการที่แตกต่างกันสองระดับโลกสวมใส่สบายพอดีกับอัลกอริธึม( gmft )ซึ่งจะถูกนำมาใช้ในรูปแบบต่างๆในทุกโปรแกรมการกำหนดความหนาของออปติคอลไดรฟ์(เช่นสำหรับ ellipsometry )และมีความมุ่งมั่นความหนาโดยตรงโดยขั้นตอนจะถอดวัสดุ(วิธีการ acos ) อัลกอริธึมหลังจะมีประโยชน์เฉพาะเมื่อมีอยู่แล้วประมาณการความหนาที่มีสติที่จะเริ่มต้นด้วย โดยการรวมกันของอัลกอริธึมเหล่านี้ความมุ่งมั่นความหนาอย่างรวดเร็วและน่าไว้วางใจแบบถึงที่จะทำได้วิธีนี้เป็นการทดสอบกับค่าการวัดการทดสอบ Simulated Acoustical Feedback Exposure และพร้อมด้วยการวัดค่าความจริงได้ด้วยระบบกล้องที่สร้างขึ้นบนตัวอย่าง ภาพยนตร์ - ความหนาตามมาตรฐานแล้ว การทดสอบนี้แสดงให้เห็นความถูกต้องและประโยชน์ของวิธีการที่เมื่อนำมาใช้กับข้อมูลที่เกี่ยวข้องกับงานด้านการวัดอุตสาหกรรม ประโยชน์ของวิธีการที่ก้านได้อย่างง่ายดายจากที่มีความเร็วและการใช้กระบวนการการวิเคราะห์โดยรวมจะต้องได้รับการบันทึกว่าวิธีการนี้ใช้ได้เฉพาะในกรณีที่ดัชนีชี้หักกระจายการใช้วัสดุที่เป็นที่รู้จักกันในชื่อในคำถามอยู่แล้วดังนั้นวิธีการมาตรฐานเช่น ellipsometry reflectometry คลื่นแสงความถี่และไม่สามารถเปลี่ยนใหม่โดยใช้วิธีการนี้เมื่อเอกสารพร้อมด้วยฟังก์ชันที่ไม่รู้จักที่เป็นฉนวนที่มีส่วนเกี่ยวข้องกับ.

รัดกุมและการนำเสนอข้อมูลที่ชัดเจนของอัลกอริธึมและทำการทดสอบอย่างละเอียดแล้วของวิธีการใหม่ที่ทำให้เอกสารนี้ให้ไฮไลต์ของการพัฒนาวิธีการวัด อุณหภูมิ แบบฟิล์มบางอุตสาหกรรม สำหรับการวัดค่าการถ่าย ภาพ ได้อย่างรวดเร็วการแก้ไขทั้งสาม - ความยาวคลื่นแห่งนี้ได้รับประโยชน์อย่างแท้จริงมากกว่าวิธีชะลอตัวลง พร้อมด้วยการพัฒนาเพิ่มเติมในด้านนวัตกรรมได้วิธีนี้จะกลายเป็นนวัตกรรมใหม่ที่สำคัญเป็นอย่างมากสำหรับการวัดความหนาของแผ่นฟิล์ม ดังนั้นงานนี้จะเป็นการกระตุ้นให้นวัตกรรมในการวัดค่าสีเคลือบเงาฟิล์มบางอุตสาหกรรมอย่างแน่นอน